中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9378180 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorは、大量のウェハ製造用に設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。それはハイテクな破片の生産のための製作の植物で使用されます；NOVELLUS Vectorは他のエッチングツールと連携して、ウェーハやチップの異なるレイヤーを定義、形状、クリーン化します。LAM RESEARCHベクトルは、フッ素系プラズマを利用して、シリコン、銅などの薄い層をエッチングし、きれいにします。これは、対応するものと比較して、様々な、より精密かつ詳細なエッチング操作を実行することができます。Helium-Enhanced Plasma Asher （HEPA）やHDIC （High Density Inductive Coupling）などの高度な技術を使用しており、温度、流量、エッチング速度プロファイルを高速かつ正確に制御できます。ベクトル独自のRF誘導源の設計により、粒子密度とエネルギー分布を正確に制御することができ、エッチング収率を改善し、基板への望ましくない損傷を最小限に抑えることができます。さらに、システムは特に安全性と効率性を念頭に設計されています。高度な自動化技術と品質保証業務を取り入れ、エッチング作業に要する時間を大幅に短縮します。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorの高度なソフトウェアスイートは、プロセスの一貫性を確保し、ヒューマンエラーの可能性を排除します。これにより、ツールメトロロジーが改善され、プロセスエンジニアは重要なパフォーマンス障害になる前に潜在的な問題をすばやく検出できます。これは、ユニットの高スループットによってさらに支援され、大量生産に最適です。NOVELLUS Vectorは、洗練されたコンタミネーションコントロールマシンを内蔵しており、新しく使用された材料のあらゆる側面を制御します。これにより、エッチングチャンバーの清潔性が保証され、潜在的な堆積物がウェーハに転送されるのを防ぎ、プロセス障害につながる可能性があります。全体として、LAM RESEARCH VectorはNOVELLUSの信頼性の高い高性能エッチャー/アッシャーツールです。これは、高度な技術に基づいており、エッチングプロセスのより大きな制御を提供しています。安全性とコンタミネーション制御機能により、大量の生産ワークフローのための強力なツールとなります。