中古品 LAM RESEARCH / NOVELLUS (エッチャー／アッシャー) を販売中

Lam ResearchとNovellus（現在はLam Researchのメーカー）は、半導体産業のエッチングおよびアッシングツールの業界をリードするメーカーです。これらのツールは、シリコンウェーハ上の複雑なパターンや構造を作成するために製造プロセスで使用されます。ラムリサーチは、最先端の技術と高度な機能を備えたエッチャーとアッシャーの範囲を提供しています。主力製品には、Vector Express、 Vector Extreme、およびVectorシステムがあります。これらのエッチャー/アッシャーは、高いスループット、優れたプロセス制御、および最先端のチップ製造の柔軟性を提供します。これらは、高度なノードの需要の増加に対応し、並外れたプロセスの均一性と再現性を提供するように設計されています。Lam Research/Novellus etchers/ashersの重要な利点の1つは、さまざまな基板を処理し、優れたプロセス汎用性を提供する能力です。これらのシステムは、誘電体エッチング、金属エッチング、プラズマクリーンプロセスなど、複数のアプリケーションをサポートします。Vector Expressマシンは、大量の製造用に設計されており、業界をリードする生産性を提供します。その高度なチャンバー設計は、高いエッチング率と優れた膜厚の均一性を可能にします。Vector Extremeは、高度なプロセス制御と強化された粒子および汚染制御により、困難なデバイス製造を可能にするために構築されています。全体として、Lam Research/Novellusのエッチャー/アッシャーは、信頼性、生産性、およびプロセス制御機能で高く評価されています。世界中の大手半導体メーカーにとって、最も重要な選択肢となっています。