中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9250686 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUSベクトルは、さまざまな材料表面をエッチングするように設計されたエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、モバイルデバイス部品からコンピュータメモリチップまで、さまざまな産業アプリケーションを支援するために作成されます。NOVELLUSベクターエッチャー/アッシャーは、デュアルビームソース技術を使用して、ブランクとエッチングの両方の深さを最大化します。このデュアルビーム技術は、エッチング材料だけでなく、同時層蒸着にも対応しています。LAM RESEARCH Vectorはセミatemperateとtemperateの両方のプロセスチャンバー用に設計されており、ユーザーが正確なエッチングと開発プロセスのためにメモリチップや金属層などの基板を配置できるコーター開発者には、さまざまなプロセスセプターがあります。Vectorは、高度なデュアルビームソーステクノロジーにより、エッチングまたは層成膜プロセスのために、基板から約1200°Cから2400°Cの温度まで加熱します。LAM RESEARCH/NOVELLUSベクトルは、密閉されたチャンバー内に1台のトランスファーロボットを使用し、人間の相互作用を最小限に抑えて毎時1000個の基板を転送することができます。そのビーム源は、高精度で非常に小さな開口部を作成するのに役立ちます、そして、そのデュアルビーム技術は、廃棄物を最小限に抑え、材料を保存するのに役立ちます。NOVELLUS Vectorは、直径8〜12インチのウェーハ加工に最適で、酸化、窒化、金属化、アニーリング、窒化、低温拡散などの複雑なプロセス作業に対応できます。自動化されたプロセスと洗練されたレーザーソース技術により、人間の相互作用を最小限に抑えながら、正確で正確なエッチングが保証されます。全体的に、LAM RESEARCH Vectorは、さまざまな材料の高品質エッチングおよび精密層の堆積用に設計されたエッチャー/アッシャーです。デュアルビームソーステクノロジーと密閉チャンバー内のシングルトランスファーロボットにより、複雑なプロセスタスクを処理でき、小さなビーム開口部が高精度なエッチングにつながります。ベクトルは、直径8インチから12インチのウェーハ用に設計されており、基板を精密かつ効率的に処理できます。