中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9244876 を販売中
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ID: 9244876
ヴィンテージ: 2003
CVD System
Chase PC cart
NPP Rack
NTU
AC Rack
(2) Light curtains
2003 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorは、半導体業界で使用されるように設計されたエッチャー/アッシャー装置です。ウェーハ加工用途向けに設計された高性能システムです。このユニットは大量生産ライン向けに設計されており、正確で信頼性の高いプラズマエッチングとアッシングプロセスを提供します。人間工学に基づいたユーザーインターフェイスを備えた高度なシングルウェーハ基板加工ステーションを備えており、幅広いウエハサイズとフィルタリングガスに対応できます。NOVELLUSベクターマシンは、独自の化学蒸着（CVD）プロセスを使用して半導体表面をエッチングし、洗浄します。CVDプロセスは、厳しく制御された環境でガスの組み合わせを使用して、ウェーハの表面に薄い層の材料を堆積させます。このプロセスにより、ウェーハと基板の間のより高品質なインタフェースが得られ、より滑らかな表面と欠陥が少なくなります。このツールはモジュラー設計を備えており、拡張性と新機能の取り込みが容易です。その高度なガス制御資産は、ダウンタイムを最小限に抑えながら、優れた安定性とプロセスパラメータの制御を提供します。このモデルはまた、独立した加熱制御装置を提供しており、プロセスの温度安定性を制御することができます。このシステムは、高解像度イメージング用の複数の光学部品を備えた汎用性の高いハードウェア構成と、一貫した結果を得るための均一な蒸着モジュールを備えています。このユニットには、プロセスの監視と制御のためのセンサーが配列されており、プロセスの効率と品質を維持するのに役立ちます。LAM RESEARCHベクターマシンは、その大きな動作範囲と高スループットなど、競合するシステムに比べていくつかの明確な利点があります。また、基板加工や成膜にも高度な機能を備えているため、さまざまな半導体製造アプリケーションに最適です。最後に、柔軟な設計により、さまざまな種類の生産ラインやプロセスと容易に統合できます。
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