中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9244820 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorは、正確で信頼性の高いエッチングおよび/またはアッシングを必要とする最も困難な最先端の技術を処理するために特別に設計されたオールインワンエッチャー/アッシャーです。NOVELLUS Vectorは革命的オートメーション制御装置（RACS）を使用して、各プロセスが重要な仕様のために制御されることを保証します。これにより、サイクルごとに均一で繰り返し可能なエッチングと灰の結果が保証されます。LAM RESEARCH Vectorは、静かで低振動、粒子制御、真空システム、高効率なリモートプラズマ源を備えており、より高速な処理が可能です。高速で精密なステッパーとガルバノメーターベースの統合モーションコントロールユニットを備えており、高い精度を維持しながらエッチング時間を短縮するだけでなく、エッチング速度と歩留まりを大幅に向上させるモジュラー型のロボットタイプのエンドエフェクターも備えています。ベクトルには、最も複雑なパターンでもタイトなトレース特性を確保するために、強力でありながら非常に正確なビームアライメントマシンが装備されています。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorには高度な安全システムが装備されており、すべての機密部品が損傷を受けず、人員が常に保護されていることを保証します。パワフルな照明ツールを搭載しており、作業中のパターン表示が容易に行えるほか、工具の損傷や汚染を確認できるリアルタイムプロセス監視アセットも備えています。NOVELLUS Vectorにはトレンド分析とデータロギングモジュールが装備されており、すべてのレイヤーが所定の仕様に従ってエッチングされます。LAM RESEARCHベクトルの柔軟性により、幅広いエッチングソリューションに適しています。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と統合ネットワーク機能により、ジョブを1つのツールから別のツールに簡単に設定および転送できます。Vectorのオープンアーキテクチャ設計により、さまざまなベンダーから入手可能なすべてのソフトウェアと完全に互換性があります。これにより、ユーザーはカスタムプロセスシーケンスとレイヤーの組み合わせを構成および設定したり、他のモデルから既存のジョブセットを統合することができます。さらに、LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorは、バイアス、イオンミリング、ディープスクリーニング、カーボンナノチューブエッチング、高アスペクト比エッチングなど、さまざまなタスク固有の機能を実行できます。装置は非常に低い所有権の費用を提供するように設計されています。単一のプラットフォームと統合チャンバーを使用することで、投資コストを削減し、プロセスの歩留まりを向上させることができます。最後に、NOVELLUS Vectorは、市場で最も信頼性が高く費用対効果の高いシステムの1つであり、エッチングとアッシングを次のレベルに引き上げたいあらゆるビジネスにとって理想的なソリューションです。