中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235239 を販売中

LAM LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorは、半導体製造に使用されるエッチングまたはアッシングツールです。NOVELLUS Vectorは、エッチングやアッシングのアプリケーションを実行するだけでなく、完全なプロセスワークフローを最適化するように設計されています。この装置は、高品質のデバイス処理のための正確な誘電エッチングと酸化物成分の機能を組み込んでいます。モジュール式でコンパクトな設計のLAM RESEARCH Vectorは、小規模な生産作業でも高速で再現性の高いプロセスを実現します。これは非常に信頼性が高く、高いレベルのファウンドリ性能とスループットを備えています。このシステムは、非常にタイトなプロセスウィンドウで優れた均一性と精度を提供し、高K誘電エッチング、ローカル相互接続エッチング、銅ギャップフィラーエッチングアプリケーションなど、さまざまなプロセスレシピで理想的なツールです。さらに、Vectorの堅牢な処理機能により、サービスクラスター内の高K誘電エッチングや堆積酸化物などの揮発性材料に最適なツールとなります。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorは、NOVELLUSベクトル制御とユニークなビームプラズマソースを統合し、優れたエッチングレート制御、均一性、および精度を実現します。プロセスオートメーションも強化されており、生産計画の変更に迅速に対応できます。これは、潜在的なサボテアを抑止するための堅牢なプロセスセキュリティ機能を提供し、高度なトンネルおよびスライドバー設計により、スループットと歩留まり性能が向上します。プロセス管理ツールの統合を拡大したLAM RESEARCH Vectorは、主要な処理パラメータに対する最大限の柔軟性と制御を提供します。また、高度なプロセス制御機能を搭載し、最適なプロセス精度と均一性を確保しています。ユニバーサルレシピ管理と高度なプロセスメトロジー機能が含まれています。計測機能は、プロセスの精度と均一性を確保するための幅広いパラメータを提供します。このマシンは、高速で反復可能なプロセス最適化と高い生産性のための迅速なプログラム可能性を提供します。さらに、LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorは、オペレータや重要機器を潜在的な危険から保護するさまざまな安全機能を備えています。このツールは、安全なウェーハ処理環境を確保するために、封じ込め技術とレーザーセーフ技術を組み合わせて使用します。最後に、NOVELLUS Vectorは直感的なユーザーエクスペリエンスを念頭に置いて設計されており、プログラムと操作が簡単です。