中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235161 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorは、半導体ウェーハの加工に使用されるエッチング/アッシングツール（またはChemical Mechanical Planarization （CMP）装置）です。生産ラインに簡単に組み込むことができる幅広いプロセスモジュールにより、高スループット性能を実現します。NOVELLUS Vectorは2段階のプロセスを備えています。最初の段階では、酸化剤とエチャントを使用してウェーハの上層を除去します。第二に、高密度プラズマ（HDP）を使用して、従来の湿式化学プロセスよりもはるかに高速で高分解能で表面をエッチングします。LAM RESEARCHベクターシステムは、プロセス効率と稼働時間を最大限に最適化するために設計されています。これは、プロセスのパフォーマンスと速度に悪影響を減らすことができるリニアプロセッサを備えています。調整可能なパラメータでプロセス条件を制御できるため、プロセスパラメータの柔軟性が向上します。ベクトルはまた、よりクリーンなプロセス環境を提供するユニークなエンクロージャユニットを備えており、より高い忠実度の結果を得ることができます。さらに、LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorは、バッチ処理の必要性を排除する単一のウェハアプローチを使用します。NOVELLUS Vectorの最先端の測定および制御機能も印象的です。これは、異なるレイヤーをエッチングする際のプロセス制御とプロセスの安定性を向上させるデュアルステージプロセスモニタを備えています。また、ウェーハ全体の均一性を確保するための高度な自動アライメントも含まれています。さらに、LAM RESEARCH Vectorには、エッチングプロセスを監視し、プロセス最適化のフィードバックを提供する自動アナライザが付属しています。全体的に、ベクトルは高スループット性能のために設計された高度なエッチング/アッシング機です。革新的な設計により、プロセスの効率と稼働時間を最大限に高め、高度な測定と制御機能を備えています。半導体業界にとって理想的なツールであり、あらゆるウエハ加工施設に競争力を提供することができます。