中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235073 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUSベクトルは半導体用アッシャー/エッチャーです。これは、高度なプラズマエッチング技術と柔軟性と拡張性の両方を提供するモジュラーアーキテクチャを提供する強力なツールです。NOVELLUSベクトルは、最適なプラズマプロファイルの均一性を達成するために高効率のマルチマグネトロン源を利用しています。3チャンバーアーキテクチャにより、迅速なウェーハプロセス側（HDP-PR）の変更が可能です。LAM RESEARCH Vectorの高速静電チャック（ESC）ウェハハンドリング装置は、エッチングの均一性とスループットを向上させます。ESCシステムには、大面積エッチング時のウェーハ並列性を向上させるチルト機構も組み込まれています。また、エッチング速度とエンドポイント精度の変動を監視する包括的なエンドポイント（EPD）検出ユニットを備えています。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector CHF3、エッチング速度と選択性を向上させるために、ガス導入マニホールドと高速パルス型ガスシャッターを含む先進的なガス生産機を採用しています。NOVELLUS Vectorの自動ガスパネルプログラミングチューニングにより、最適なエッチングプロセスを迅速に適用できます。LAM RESEARCHベクターのCCDベースのビジョンツールは、ウェハの上面と下面の両方から、高い識別精度と解像度を備えています。このデュアルビューCCDアセットは、フロントエッチングとバックエッチングの両方に正確なエッチング位置とエッチング領域の測定を提供します。また、ベクトルは、迅速なメンテナンスと環境データの収集と分析を可能にする堅牢なモデル監視機能を備えています。さらに、LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorは、幅広い外部診断を含む高度なハードウェアおよびソフトウェアの診断機能を提供します。これにより、ユーザーはプロセスの問題を迅速に特定して解決することができます。NOVELLUS Vectorは、幅広いリソグラフィ、エッチング、蒸着プロセスでの展開に成功しています。LAM RESEARCH Vectorの高度な機能を活用することで、大量生産ラインでの複雑なプロセスとシンプルなプロセスの両方にエッチャーを利用できます。ベクトルは、究極の柔軟性、高スループット、および改善されたプロセス制御をお客様に提供します。