中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235071 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorは、さまざまな材料を正確かつ効率的にエッチングしてパターン化するために設計された高度な多機能エッチャーアッシャー装置です。このシステムは、ハードウェアとソフトウェアコンポーネントの組み合わせを使用して処理を制御し、所望のプロセスパラメータを維持します。ハードウェアは、メインフレーム、コンピュータワークステーション、電源、プログラム可能な空気供給モニタ、真空およびガスレギュレータ、超高真空ソース、および複数の処理チャンバーで構成されています。ソフトウェアスイートを使用すると、処理を制御し、エッチング処理を微調整する一連の指示を作成できます。NOVELLUS Vectorは反応性イオンビームエッチング技術を使用しています。これは、イオンビームを使用してターゲット材料から分子を蒸発させるエッチング方法です。ビーム中のイオンはターゲットに向かって加速され、そこで表面に吸収され、エッチング室のガス環境に放出されます。ガス中の反応性イオンは材料と反応し、目的の材料から望ましいパターンまたは形状になります。制御ユニットは、ガス流量、圧力、温度などの特定のプロセスパラメータを設定することができ、必要なエッチング深さと幅が得られます。材料に高解像度のパターンをエッチングする場合、LAM RESEARCHベクターマシンはリソグラフィーチャンバーを使用します。基板は、制御ツールからのプログラムの指示によって決定される正確なパターンでレーザーの下に移動されます。パターンが露出したら、反応性プラズマエッチング処理を使用して、基板の保護されていない領域をエッチングします。ベクトルアセットは、材料特性および基板特性に応じて、最大50ナノメートル以上のX-y分解能で基板をエッチングできます。LAM RESEARCH/NOVELLUSベクターモデルには、オペレータと機器のすぐ近くにあるものを保護するための複数の安全機能があります。これには、機器周辺の保護ハウジング、アラーム、および安全限界外の条件が検出された場合にプロセスを停止する安全インターロックが含まれます。NOVELLUS Vectorは信頼性の高いシステムであり、最上層金属化から3D構造まで、さまざまな用途で実証されています。それは多くの企業のための材料のエッチングそして処理のための有効で、費用効果が大きい選択です。