中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9227340 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorは、半導体製造プロセスで使用される高度なエッチャー/アッシャーツールです。石英、シリコン、特定金属などの基板の高精度プラズマエッチングを可能にする環境プロセスチャンバーです。NOVELLUS Vectorは、13。56 MHz RFジェネレータである1つの標準ソースと、低周波RF電源であるオプションのスイッチング可能ソースの2つのプラズマ源を備えています。これらの2つのプラズマ源は、異なるエッチング化学物質を持つ幅広い材料をエッチングすることを可能にします。また、高出力急速サーマルアニーリング（RTA）チャンバーを備えており、基板の熱処理を高速化できます。LAM RESEARCH Vectorには、汎用性の高いエッチングツールになるいくつかの機能があります。その垂直設計は均一なエッチング環境を提供します、その自己調整段階は、異なる基質形態のために整列し、調整するために使用されます。また、さまざまな処理化学製品を最大限に引き出す自動バルブや、ウェハをターゲットのエッチング深さに合わせた精密モーションコントローラも装備しています。さらに、Vectorにはプロセス時間と深さを正確に制御するための洗練されたスキャンアルゴリズムが装備されています。自動化されたウェハローディングとアンロードにより、操作も簡単になります。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vectorの高度なエッチング機能は、さまざまなプロジェクトに最適なツールです。精度と制御を兼ね備えた最適なエッチング品質を提供します。その自己調整プラズマ源はまた、オペレータがエッチング密度とレシピを簡単に調整することができ、効率的で効果的な処理結果を提供します。さらに、その高速熱処理能力は、コンパクトな処理サイクルを可能にし、基板が次のプロセスのために迅速に準備されていることを確認します。全体的に、NOVELLUS Vector etcher/asherはユーザーフレンドリーで高度なエッチングシステムです。高精度プラズマエッチング機能と急速なサーマルアニーリングと自動ウェハハンドリングにより、半導体製造プロジェクトに最適です。その汎用性の高い機能は、LAM RESEARCH Vectorを信じられないほど信頼性と効果的なエッチングツールにします。