中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9301496 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extremeは、独自のプロセス制御アルゴリズムで設計されたエッチャー/アッシャーで、高度なメモリデバイスに最適なエッチング/アッシュ性能を提供します。この装置は、最新世代のフォトマスクと互換性があり、シリコン、低k誘電体、III-V材料などの材料を扱うことができます。NOVELLUS Vector Extremeは、エッチング/灰プロセスを識別および特徴付けるための新しいアナライザアプリケーションを備えています。これには、ユーザーが最適なエッチング/アッシュパラメータを正確に決定できる特許取得済みのアナライザウィンドウが含まれます。また、プラズマ性能を監視し、エッチング/灰プロセスを最適化するためにガス流量を調整する高度なアクティブガスコントロールシステムも含まれています。LAM RESEARCH VECTOR EXTREMEは、化学反応性ガス混合物を使用して材料の層をエッチングするプラズマ補助エッチングを介して動作します。最先端のプラズマ源は、高出力プラズマを生成し、スムーズで一貫したエッチング/灰プロセスを保証します。高速なサイクルタイムにより大量生産を短時間で可能にし、低kリフロー技術により、熱膨張および収縮による損傷を最小限に抑えながら、エッチング/灰の最高性能を保証します。LAM RESEARCH Vector Extremeには、ユーザーが希望するパターンを入力し、処理前にエッチングとアッシングの結果を正確に予測することができる新しい予測性能ユニット技術も搭載されています。このマシンは、パフォーマンスを向上させるために、過去のエッチング/アッシュのステップからプロセスを微調整することを学びます。LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREMEは、最高の処理速度と精度を目指して設計されています。大型加工チャンバーを備えており、複数のウエハバッチを同時にエッチング・アッシングすることができます。また、ツールのスループットと使用率を向上させるために、他のツールに接続することもできます。Vector Extremeは完全に自動化されており、統合されたセキュリティと安全システムを備えています。これは、リモート監視、アラート、およびリモート診断をサポートしています。また、ソフトウェアの修正で自動的に更新することができ、生涯にわたって可能な限り最高のパフォーマンスを保証します。