中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9294398 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extremeは、精密なエッチングおよびアニール処理用に設計された金属エッチング機です。高度な半導体パッケージングと部品加工のための微細要件を備えた部品の作成に最適です。NOVELLUS Vector Extremeは、1つのシステムで4つの独立したウェーハスキャンステージを使用し、一度に最大4つのウェーハを処理できる完全自動化された機器です。アルミニウム、銅、タングステン、チタンなどの金属を、比類のない再現性、精度、信頼性でエッチングすることができます。LAM RESEARCH VECTOR EXTREMEは、許容誤差が100分の1以下の層をアニールしてエッチングすることができる強力な8軸ロボットアームを採用し、最大3nmの横速度を実現しています。これにより、基層へのダメージを最小限に抑えて、目的のレイヤーを迅速かつ正確に製造できます。蒸発金属の再現性と精密な制御により、マイクロパッケージングアプリケーションの信頼性の高いオプションとなります。LAM RESEARCH Vector Extremeは、マシンのセットアップ、操作、および監視のための包括的な情報を提供する機能豊富なユーザーインターフェイスを備えています。このユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、ユーザーは冷却段階を含むエッチングおよびアニーリングプロセスのすべての段階を監視し、一貫した信頼性の高い生産結果を保証できます。LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREMEは、クリーンで準拠した運用環境を確保するために設計された独自の蒸発金属排水制御ユニットを使用しています。蒸発した金属排水は、空気中のすべての微粒子およびガス性汚染物質を除去する複数の濾過システムを使用して濾過され、エッチングおよびアニーリングプロセスに関連する健康および環境問題のリスクを低減します。VECTOR EXTREMEはDRAM600 CEプラットフォーム上に構築されており、さまざまなアプリケーションに信頼性の高い操作と拡張性を提供します。このプラットフォームは、最も困難で敵対的な環境で信頼性の高い動作を保証する冗長性を提供します。RoHSに準拠しており、他の部品生産システムと統合して、さまざまな半導体および産業用アプリケーションに迅速かつ信頼性の高い製造を提供できる完全な機械を作成できます。Vector Extremeは高性能エッチングおよびアニーリングツールで、信頼性と費用対効果の高いパッケージで、お客様に信じられないほどの精度と再現性を提供します。その柔軟性、精度、完全なパッケージにより、あらゆるエッチングおよびアニール操作に最適なソリューションです。