中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9293142 を販売中
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販売された
ID: 9293142
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
CVD System, 12"
Power option: K-Model
Interconnect cable length: 22 m
Server type: DS/ EC
Process module options:
Process capability: HDR DB SiN / USG / SiN / ARL
ASTRON HF-S (15L) RPC Generator
RF Configuration: SiRF kit
Heated top plate: Passive
Hot chamber cover
APEX 5513 HF Generator
PDX 2500 LF Generator
ADVACED ENERGY Navigator HF Matcher
COMDEL LF Matcher, Two channel fixed matcher
Process manometer: Heated, 10 Torr
Hasting gauge pm
Hastings gauge foreline
(5) View ports
Spindle type: Servo
Pedestal option: Low profile
Minimum Contact Area (MCA): Pin, ball
Carrier ring: Standard
Pendulum valve: VAT
Lift pin: Servo type
Shower head, 13"
EIOC Configuration: Standard
IR EPD
Foreline type: Symmetric
Gas box configuration: Standard 12 channels
UI Option: Standard
UI Location: Right / Left
Signal tower
Front signal: Buzzer arm mount
Fascia color: Sky white
BROOKS AUTOMATION Reliance 9 ATM Robot
BROOKS AUTOMATION Mag 8 Vacuum robot
End effector: (2) Arms / Friction type
(4) FOUPs
BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision Load port
OMRON RFID Reader
Lamp
Ionizer kit
Light curtain option
Additional front end EMO
Load lock: Standard In / Out bound load lock
Filter Fan Unit (FFU) Option
Chase computer with cart
Throttle valve type: NORCAL
2008 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extremeは、半導体製造業界の世界クラスのエッチャーおよびアッシャーです。これは、重要なエッチングおよび灰の操作のための高度な精度と低い欠陥を提供するように特別に設計されています。NOVELLUS Vector Extremeは、革新的な高密度デュアルソースプラズマ処理技術を使用して、制御の向上、粒子生成の低減、およびラインエッチングのバックエンドのスループットの向上を実現します。また、幅広いエッチングケミストリーをサポートし、高度なノードデバイスの多目的プロセス最適化とコスト効率の高い処理を可能にします。LAM RESEARCH VECTOR EXTREMEエッチャー/アッシャーは、幅広いパッケージフォーマット、サイズ、サイズをサポートしながら、さまざまなデバイス構造やアプリケーションに最大限の柔軟性と拡張性を提供します。高度に構成可能な750mmプラットフォームを備えており、最大3750mm2のダイサイズに対応できます。その他の主な機能には、DVDアプリケーションのエッチングプロセスを最適化する高度な物理モデリング機能であるDynamic-Etch Technologyがあります。精密なエッチングプロセス制御のための独特なピークおよび谷のトレースの高さの補償の技術であるミクロン正確さの水平になること（MAL）；そして拡張可能なウェーハチェンジャー（EWC）、プロセスの柔軟性を最大にする凝集性のあるオープンアーキテクチャのモジュール式ワークハンドリングシステム。Vector Extremeのリフトオフエッチング機能は、処理中にウェーハをチャック上に移動する必要を最小限に抑えながら、ウェーハ全体の圧力変動を低減するように設計されています。さらに、LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREMEには、高度な高温ハイドライドCVD （AHT-CVD）などの高度なクリーン機能が含まれており、プロセスの安定性と粒子発生を最小限に抑えます。Active Process Monitoring （APM）、 Process Adapter Autotuning （Process Adapter Autotuning）、 Extended Recipe Based Interfacing （ERBI）などの堅牢なプロセス制御機能により、複数のターゲットで正確なチューニングが可能になり、エッチプロセスの最適化が容易になります。NOVELLUS VECTOR EXTREMEは、今日最も要求の厳しい半導体デバイス要件を満たすための幅広い機能を備えた信頼性と堅牢性を提供します。LAM RESEARCH Vector Extremeは、高度な技術、高スループット、設定性を備えており、半導体業界のあらゆるエッチングおよびアッシングのニーズに最適です。
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