中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9270881 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extremeは、現代の半導体加工のために特別に設計されたエッチャーおよびアッシャーです。最先端の半導体用マルチステーションプラズマエッチングツールです。NOVELLUS Vector Extremeの設計は、精度と高スループットに最適化されています。これは、垂直および水平のエッチングと灰の両方のアプリケーションに使用できる柔軟で構成可能なアーキテクチャを備えています。この柔軟性により、特定のアプリケーションのターゲット仕様に合わせて機器をカスタマイズできます。高解像度の光学システムにより、プラズマを正確に制御し、精密なエッチングと灰プロセスを実現します。LAM RESEARCH VECTOR EXTREMEは、安定した反復可能なプラズマ処理を提供する高性能RF誘導ジェネレータを搭載しています。高度なベクトル処理機能により、RFジェネレータをウェハステージに素早く正確にアライメントできるため、処理歩留まりが向上します。ベクタリングユニットはまた、プラズマ中の粒子やその他の汚染物質の一貫した配置を保証し、非均一なエッチングと灰の結果を防止するのに役立ちます。VECTOR EXTREMEには、特定のエッチングと灰のレシピの動作パラメータを正確に調整できるガス混合コンソールも装備されています。この機械は反復可能で、信頼できる結果を保障するのを助けます。また、ガスミキシングステーションを使用して、プラズマ発生器で使用されているガスの純度を監視し、処理中に発生する可能性のある問題を診断することができます。LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREMEは、自動化されたセルフクリーニングツールにより、迅速かつ簡単なメンテナンスも提供します。このアセットは、ダウンタイムを削減し、モデルの信頼性とパフォーマンスを向上させるように設計されています。最後に、LAM RESEARCH Vector Extremeは、さまざまな高度なセンサーやコントローラと互換性があり、ユーザーは特定のプロセス要件に合わせて機器をカスタマイズすることができます。結論として、NOVELLUS VECTOR EXTREMEは、高精度で高スループットの半導体製造プロセスを可能にするように設計された高度なエッチャーおよびアッシャーです。ベクター加工、高速メンテナンス、ガス混合などの高度な機能により、再現性と信頼性の高い結果が保証されます。高解像度の光学システムにより、プラズマを精密に制御し、精密なエッチングと灰プロセスを実現します。最後に、さまざまなコントローラやセンサーとの互換性により、プロセス要件に合わせてユニットをカスタマイズすることができます。