中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9241973 を販売中

LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme
ID: 9241973
CVD System, 12" 2010 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extremeは、半導体デバイスの製造に使用されるハイエンドエッチャーおよびアッシャーです。複雑な半導体アーキテクチャを完璧にチューニングするために、不要な材料を迅速かつ効率的にエッチングおよび除去するように設計されています。NOVELLUS Vector Extremeは、デバイスの厚さと抵抗性を微調整するための強化されたアプローチを提供するために、エッチングと灰のステップを組み合わせた先進的な機器です。このシステムは、デュアルステージ機能を備えているため、高度なデバイス処理に最適です。オンボードマイクロコントローラを使用して、2つのステージのそれぞれを独立して制御します。これにより、プロセスの最適化とスループットの高速化が可能になります。このユニットのラジアルエッチングは、均一性と解像度でスムーズなエッチングとギャップの閉鎖を保証します。また、厳密なエッチングプロセスに対する優れた精度と制御を提供します。LAM RESEARCH VECTOR EXTREMEは、処理エリアの危険物からオペレータと近くのスタッフを保護する優れた安全機能を備えています。それに塵の粒子が空気にならないことを保障する塵の避難機械があります。また、エッチング工程で発生する危険な蒸気をキャプチャするための化学蒸気制御ツールも備えています。これにより、オペレータは有毒な化学物質にさらされないようにします。アセットには、レイヤーとエッチングのレシピ管理を可能にする統合されたウェーハステージ制御モジュールがあります。優れた解像度と精度で複雑なエッチングプロセスを実行するために調整することができます。NOVELLUS VECTOR EXTREMEは、精密位置決めステージと自動ウェーハアライメントも備えています。これにより、小さな機能サイズの複雑なデバイスに最適です。LAM RESEARCH Vector Extremeは、高品質のフレームと強力な熱音響管理で構築されています。その二重隔離の壁は振動および健全なレベルを減らします。それはまた、モデルのすべての関連部品にアクセスしながら、オペレータの快適さを最大化するための人間工学的な設計を持っています。全体的に、Vector Extremeは、ユーザーの安全性と高度なパフォーマンスを念頭に置いて設計および構築されています。複雑な半導体アーキテクチャの製造において材料をエッチングおよび除去するための効率的で信頼性の高いツールです。
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