中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9099744 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extremeは、プラズマベースのリアクティブイオンエッチング（RIE）技術を使用して、高精度のエッチングおよびボディバイアスアプリケーションでウェーハを処理する高度なエッチャー/アッシャーです。この装置は、高精度で均一なリニアエッチコントロールを提供し、さまざまなウェハサイズ、温度、環境に対応できます。NOVELLUS Vector Extremeは、クリーンルーム環境で使用するために設計されており、最高レベルのエッチング精度と精度を確保するために互いに独立して動作する2つの独立したサブシステムで構成されています。最初のサブシステムはプラズマソースシステムで、リアクティブイオンエッチング（RIE）プラズマを生成してウェーハをほぼ完全な精度でエッチングします。2つ目のサブシステムは、最適なエッチング処理のためのエッチングおよびクリーニングガスの正確な計量混合物を提供するガス供給ユニットです。LAM RESEARCH VECTOR EXTREMEには高度なオートメーションが組み込まれており、ユーザーは特定の要件を満たすためにエッチングプロファイルのパラメータをカスタマイズすることができます。さらに、粒子の汚染を最小限に抑え、最大限の信頼性とプロセス制御を実現するように設計されています。NOVELLUS VECTOR EXTREMEは、1％以上の再現性と30nmの最小線幅を実現し、スケールリソグラフィ用途に最適です。堅牢なデザインと優れた機能を備えたVECTOR EXTREMEは、さまざまなクリーンルーム環境でのエッチングやボディバイアス作業に最適です。