中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293767216 を販売中
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ID: 293767216
ヴィンテージ: 2014
System
Chamber position / Gases
Unit 1 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
Unit 2 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
Unit 3 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
2014 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、生産を通じて基板の高速かつ正確な処理を提供するように設計された多目的エッチャーおよびアッシャーです。ファインラインイメージング機能を備えながら、スループットと動作効率に優れた高速機器です。NOVELLUS Vector Expressには、複数の特許を取得した高密度RF静電チャックが搭載されており、チャンバーの圧力と温度を正確に制御してプロセス歩留まりを向上させます。このシステムはまた、最も要求の厳しいアプリケーションに最適なプロセス再現性を実現する柔軟で可変圧力オプションを備えています。LAM RESEARCH Vector Expressは、過負荷を回避し、効率的な材料使用を可能にするためにアーク検出ユニットで構成されています。自動化されたプロセス制御とリアルタイムフィードバックにより、高い忠実度の均一性と優れたファインライン解像度を実現します。Vector Expressの高出力RFジェネレータは、性能を犠牲にすることなく基板のエッチングを最適化するために簡単に調整できます。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、アッシング、エッチング、リアクティブイオンエッチング（RIE）など、幅広い用途に対応できます。機械は特に大面積の誘電体、ポリシリコンおよび窒化物のフィルムの沈着のために設計されています。これは、未加工フィルムの優れたステップカバレッジを提供し、高度なデバイス部品の製造に適しています。NOVELLUS Vector Expressには、リアルタイムのインチャンバー診断を提供し、最適なエッチング性能を保証する高度なプロセスモニタリングが装備されています。このツールのユーザーインターフェイスは、直感的なタッチスクリーン制御を提供し、迅速な生産開始を実現します。安全性と操作性を最大限に高めるために、LAM RESEARCH Vector Expressは特殊な振動吸収機構で構成されています。資産は、メンテナンスのための容易なアクセスを可能にし、貴重な生産スペースを効率的に使用するためのフットプリントを短くすることができますロープロファイルを持っています。結論として、NOVELLUSのVector Expressは、さまざまな高度な基材に最適なエッチングプロファイルを提供するために特別に設計された優れたエッチャーおよびアッシャーです。そのRFジェネレータは、高精度エッチングを維持するために簡単に調整できますが、高度なプロセスモニタリングシステムは優れたリアルタイムフィードバックと診断を提供します。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、人間工学に基づいて設計されており、安全で簡単な操作を可能にします。
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