中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293767046 を販売中
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LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extremeは、シリコン、フォトレジスト、金属、酸化物などのさまざまな基板に精密な寸法形状を作成するために使用されるエッチング/灰ツールです。時間、温度、ガス流量などのエッチングプロセスパラメータの精度と正確な制御を業界をリードしています。この装置は、最大450mmの大型基板の効率的な加工を可能にするように設計されており、柔軟なアーキテクチャにより、レシピの開発と実行を迅速に行うことができます。このシステムは、メインチャンバー、エッチングソース、および付随する多数のコンポーネントを含む多数の主要コンポーネントで構成されています。メインチャンバーは、エッチングプロセスを最適化するために特別に設計された高精度で低圧チャンバーです。それは全体の基質に均一な暖房を提供する暖房された内部はさみ金および強力な多結晶ダイヤモンドヒーターから成っています。さらに、このチャンバーは、複数のエッチング種（ガス、液体など）と堅牢な真空および圧力制御システムのインタフェースを備えています。エッチング源はユニットのセンターピースです。強力で高精度な無線周波数（RF）ソースを多数含み、高度に局在化されたプラズマフィールドを生成して基板を正確にエッチングします。RFソースは自動チューニングシステムに接続され、エッチングプロセスのパラメータが一貫していることを確認します。付属の部品には、ガス、加熱素子、基板の圧力、温度、流量を制御するさまざまなセンサやアクチュエータを導入するためのさまざまなポートがあります。ツールの寿命とオペレータの安全性を確保するために、堅牢な安全システムも存在します。NOVELLUS Vector Extremeは、さまざまな基板に使用される強力なエッチング/アッシュツールです。プロセスパラメータ、高精度メインチャンバー、RFソース、および関連部品の精密制御により、エッチング業界をリードしています。フレキシブルアーキテクチャにより迅速なレシピ開発を可能にし、最大450mmの大型基板で精密な形状を製造することができます。堅牢な安全システム、高効率、堅牢な構造により、LAM RESEARCH VECTOR EXTREMEはエッチング/灰に最適です。
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