中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293754606 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extremeは、高度な電気化学および物理蒸着アプリケーション用に特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。パフォーマンスと品質を完璧に兼ね備えたNOVELLUS Vector Extremeは、高いスループットと直感的なユーザーインターフェイスを提供し、ユーザーは簡単にレシピパラメータを設定および調整できます。精密運動装置とデジタルシステムにより、エッチング工程の精度と再現性に優れ、最も複雑なウエハ基板上での高密度イメージングを可能にします。LAM RESEARCH VECTOR EXTREMEは、優れたイメージング速度を提供し、低い欠陥、優れた形態、および迅速な納期を提供します。このユニットは、最大スループット速度が1時間あたり4,200ウェーハであり、正確なプロセス制御を提供するため、ユーザーは精度と再現性を備えたプロセスレシピを実装することができます。マルチソースエッチング、デュアルターゲットイオンミリング、化学蒸着（CVD）など、複数のプロセス構成に対応できるプロセスチャンバーを備えています。NOVELLUS VECTOR EXTREMEは、ハイエンドエッチングアプリケーションの課題に対応するため、高速マルチソース・インジェクタとデュアル・マグネトロン・プラズマ・ソースを交互に組み合わせて設計されています。特許取得済みのコア技術を搭載したVECTOR EXTREMEマシンは、クラス最高のエッチャー/アッシャー性能を提供します。このツールの高度でインタラクティブなリアルタイム制御技術は、迅速な反応時間と、即座に周波数やデューティサイクルなどの重要なパラメータを調整する機能を提供します。オープンループ動作アセットにより、± 0。25 µm以内にキネマティックコンポーネントの位置決めが可能になり、統合ビジョンモデルにより、チャンバー内のターゲットの位置決め時に高い精度が保証されます。VCA （Vision Based Control and Analysis Software）を使用すると、プロセスパラメータを簡単に管理でき、機器の高度なオートメーションソフトウェアにより、複雑なレシピを迅速かつ効率的に構築および実装できます。LAM RESEARCH Vector Extremeシステムは、高度な監視および診断機能も備えており、稼働時間とプロセス品質を確保します。工程監視機能が内蔵されているため、チャンバのパフォーマンスを即座にフィードバックできます。直感的なユーザーインターフェイスは使いやすいセットアップとレシピ管理を提供します。さらに、LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREMEマシンは、すべての半導体安全規制に準拠しており、オペレータに安全な作業環境を提供します。結論として、Vector Extreme etcher/asherは、高い信頼性と使いやすいパッケージで優れた性能と品質を提供します。高度なリアルタイム制御技術、迅速な反応時間、正確なモーションツールにより、ユーザーは複雑な構造を迅速かつ正確に製造することができ、高度なエッチングアプリケーションに最適なソリューションです。