中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293625417 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extremeは、プラズマ処理、高度なチャンバー設計、静電シールド治具技術を組み合わせ、柔軟性、性能、生産性を提供するエッチャーおよびアッシャーです。優れたプロセス制御と設定性により、NOVELLUS Vector Extremeは、フロントエンドおよびバックエンドの半導体製造プロセスに最適です。LAM RESEARCH VECTOR EXTREMEは、600mmの高アスペクト比と6ゾーンのバランスチャンバー、低電極電力を備えており、誘電体の均一性とエッチプロファイル制御を向上させます。また、独自の高周波誘導結合プラズマ（ICP）源を使用して、優れたエッチング速度の均一性、費用対効果、スパッタリングの最小化を実現しています。LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREMEは、最大の均一性とエッチング率を実現する独自の電子サイクロトロン共振源（ECR）も採用しています。ECRソースは、タッチデバイスや集積回路のアークプラグを最小限に抑え、副製品の削減と材料特性の向上に役立ちます。Vector Extremeは、二方向ジグ回転を備えたデュアルカーバイド静電シールドジグも備えており、汚染を最小限に抑えます。LAM RESEARCH Vector Extremeには、調整可能な圧力と可変的な流動制御があり、適切なプロセスチューニングにより、世界クラスのスループットと優れた歩留まりを提供できます。シリコン、銅、ゲルマニウム、ケイ化物、タングステン、窒化物など、さまざまな材料の沈着、エッチング、アッシングに最適です。高度な制御ソフトウェアを使用すると、VECTOR EXTREMEを簡単に調整して監視することができ、最適なプロセスの安定性、制御セットポイント、プロファイリングを確保し、ダウンタイムを最小限に抑え、歩留まりを向上させます。NOVELLUS VECTOR EXTREMEは、スループットの向上と優れたプロセス制御機能により、大量のアプリケーションに最適なエッチングおよびアッシングソリューションです。