中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9412146 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、高度なエッチングとエッチングプロセスを採用し、高精度のパターニングとエッチング処理を可能にする高性能エッチング/アッシャーです。この汎用性の高い機器は、LAMの高い評価を受けているNOVELLUS Vector Expressエッチングプロセスと最新技術を組み合わせています。LAM RESEARCH Vector Expressは、処理の均一性、精度、およびスループットを向上させ、最も複雑な地形や形状の高精度な製造を可能にするように設計されています。Vector Expressは、エッチング性能を最大限に高め、ユーザーエクスペリエンスを向上させるために数多くの機能と設計要素を取り入れており、自動システムキャリブレーション、高度なフィルム成膜およびエッチング制御ソフトウェア、および顕著なユーザーインターフェイスなどの最先端の機能を備えています。これらの機能により、優れたエッチングの一貫性と均一性を提供し、ツールのメンテナンスとプロセスの最適化に必要な時間を最小限に抑えることができます。このマシンは、レシピの自動生成とセットアップ機能、および統合されたプロセス監視ツールの包括的なセットも提供します。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、高度なセンサとプロセス診断システムを使用してプロセスパラメータを検出および応答することで、アプリケーションごとに最適な加工パラメータに調整できます。これにより、幅広い素材に高精度のエッチングが可能となり、手作業によるセットアップと校正のコストが削減されます。NOVELLUS Vector Expressは、信頼性と使いやすいウェハハンドリングツールを統合して提供します。ウエハハンドリングアセットは、密閉されたクリーンなチャンバー、バッフルされた排気フロー、および最適化された基板および台座設計を提供することにより、不要な汚染を最小限に抑えるように設計されています。また、LAMの直感的なSmartCart™モデルにより、ウェーハを基板上の正しい位置に配置できるため、ウェーハの取り扱いもシンプルで効率的です。この機器には堅牢なソフトウェアプラットフォームが搭載されており、ユーザーは簡単にレシピを作成、保存、ロードでき、標準および独自のプロファイルの両方をサポートできます。エッチプロセスのカスタマイズは、オンザフライのエッチング最適化を提供するLAMの統合されたProcess Expert™ソフトウェアを使用して、簡単かつ直感的に行われます。直感的なユーザーインターフェイスにより、ユーザーはレシピをすばやく開発し、後で使用するためにそれらをすばやく保存することができます。全体として、LAM RESEARCH Vector Expressは、業界をリードするエッチング性能と効率を提供する強力で信頼性が高く、ユーザーフレンドリーなエッチング/アッシャーシステムです。高精度エッチングに最適なツールであり、業界で最も要求の厳しい要件を満たすことができます。