中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9401497 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、基板に幅広い機能を正確にエッチングするように設計された最先端のエッチャー（別名アッシャー）です。この高度な機械は、多くの機能と利点を提供し、高度なパターニング精度で高品質の精密エッチングを保証します。NOVELLUS Vector Expressは、ウェーハエッチングやBARCコーティングからイオンミリング、イオン注入、高解像度3Dイメージングまで、幅広い基板材料を使用した自動化プロセスを提供しています。LAM RESEARCH Vector Expressは、高度な制御装置により、処理速度、比類のない精度、優れた品質管理を提供し、幅広い用途に最適です。Vector Expressの高度な制御システムは、サブミクロンスケールの精度と厚さ制御を備えた高速、高精度エッチング、プロセスの最適化、精密沈着、パターン転送など、幅広い処理能力を提供します。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、垂直エッチングと水平エッチングの両方に対応するオンザフライ基板とレシピ選択により、柔軟性とマルチパターニング機能も提供します。NOVELLUS Vector Expressエッチングユニットは、高度な温度とプラズマのモニタリング、素早く簡単な基板とレシピの読み込み、汎用性の高いデータ分析を備えたハイテクコントロールマシンにより、効率、生産性、信頼性を向上させます。さらに、LAM RESEARCH Vector Expressは、動的過負荷保護やフォルトモニタリングなどの高度な安全機能を提供し、信頼性の高い動作と長期的な信頼性を確保します。Vector Express Etcherは、高度なエッチングプロセスで優れた性能と信頼性を提供し、高い精度、効率、生産性を提供します。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressの高度な制御ツールと機能により、ウェハエッチングから高解像度3Dイメージングまで、幅広い用途に最適です。