中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9401496 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、高度な半導体デバイス製造の精密要件を満たすように設計されたエッチャー/アッシャー装置です。この装置は、高出力のガスジェットを使用して、デバイスの層を素早くエッチングして目的のパターンを作成します。強力なガスジェットにより、エッチング工程を高精度かつ微細に制御することができ、複雑なパターンを作成することができます。NOVELLUS Vector Expressは高度に自動化されたエッチングシステムで、オペレータの監視を最小限に抑えて複雑なエッチングとクリーニングタスクを実行できます。このユニットは、高度なセンシングおよび制御技術を使用して、エッチングプロセスのさまざまなパラメータを監視します。このモニタリングとフィードバック制御により、エッチング手順の正確な制御と精度を実現します。さらに、エッチング時にウェーハを精密に操作するための高解像度の真空チャックと、エッチングされたデバイスを迅速かつ効率的に洗浄するための高圧バーナーを備えています。LAM RESEARCH Vector Expressはモジュラーコンポーネント設計を備えており、ユーザーは特定のニーズに対応するためにツールを迅速かつ簡単に再構成できます。エッチング処理を中断することなく、アセットの実行中にモジュールを追加または削除できます。この汎用性により、ユーザーはモデルを特定の要件に合わせて調整することができます。ベクトルエクスプレスは非常に頑丈で信頼性の高い機器であり、オペレータとシステム自体の安全を確保するためにさまざまな安全機能を組み込んでいます。ユニットには自己診断および障害回復マシンが含まれており、発生する可能性のある問題をすばやく認識して修正することができます。さらに、このツールはシールドされ、冷却され、動作中にすべての内部コンポーネントが正常に動作し続けるようにします。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、超精密な規格に対応できる高度なエッチャー/アッシャーです。このユニットは、強力なガスジェット、高度なセンシングおよび制御技術、およびモジュラーコンポーネント設計を利用して、ユーザーが正確な要件に合わせて調整することができます。この資産には、さまざまな安全機能が組み込まれており、堅牢で信頼性があり、オペレータとデバイスが動作中も安全であることを保証します。