中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9390434 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、半導体加工に使用される最先端のバッチエッチャー/アッシャー装置です。複数のメディアマシンサイクルを同時に実行できる完全自動化されたバッチプロセスにより、高いスループットと精度を実現します。このシステムには、コンピュータ制御動作を備えた3つの独立したチャンバ、カスタムチャンバー圧力制御、および微調整パワー用の高出力の可変周波数RFジェネレータが含まれています。NOVELLUS Vector Expressは、1つのエッチングチャンバーがウェーハに不活性窒素（エッチング用）または活性酸素（洗浄用）を交互に供給する革新的なプロセスである協調エッチングを可能にします。このユニットには、反応イオンエッチング（RIE）技術、酸素プラズマ源を埋め込んだ現場洗浄、プログラム可能なドライエッチングプロセスなど、さまざまなエッチングおよびクリーニングツールが含まれています。これにより、材料の不要な層を除去し、目的の導体を非常に正確に堆積させることができます。LAM RESEARCH Vector Expressの高精度モーションコントロールは、正確なプロセス再現性を保証します。これは、プロセスのリアルタイム分析とフィードバックを提供する機械の高度なデータ処理機能によってサポートされており、オペレータはエッチングまたはアッシングプロセスを最適化および制御することができます。このツールは、ウェーハリフターや頻繁な洗浄が必要な半導体装置などの機器のアッシングにも使用できます。Ashingは、溶剤による手動洗浄よりもはるかに制御されたプロセスを可能にします。ユーザーに最適な安全性を提供するために、Vector Expressには、危険なガス漏れやその他の危険な状態を確認するための追加の監視モジュールが装備されています。最後に、そのクラスで最も環境に優しいエッチャーとして、資産は、任意の有害なガスが安全に管理され、フィルタリングされることを保証するために統合された排気モデルを持っています。