中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9378305 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、さまざまな半導体デバイス構造の中間から大量生産に最適な汎用エッチャー/アッシャーです。NOVELLUS Vector Expressは、堅牢な成膜装置と独自のレーザーパターニングプロセスを備えており、優れたステップカバレッジと正確なライン忠実度を提供します。このシステムは、すべての主要なレジストケミストリーと互換性があり、プラズマエッチングと高度なフォトレジスト除去オプションの両方を可能にします。LAM RESEARCH Vector Expressはまた、ユーザーに包括的なプロセス監視と制御機能を提供する新しいプロセスコントローラを備えています。ベクトルエクスプレスは、コンデンサ、トランジスタ、その他の先進的なデバイス構造に焦点を当て、高い歩留まり生産のために構築されています。このユニットは200mmのハンドリングプラットフォームを備えており、ウェーハの効率的な積み込み、輸送、アンロード、および幅広いプロセスレシピを可能にします。レシピジェネレータは、ユーザーがすぐにカスタマイズされたレシピを開発することができ、プロセス最適化のための強力なプラットフォームを提供します。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、サイクルタイムを最小限に抑えながら、スループットとプロセス収率を最大化するように設計されています。特殊エッチングアプリケーションやバルクエッチプロセス用の高精度、高スループットチャンバーを備えています。このマシンは、バッチ構成とクラスタ構成の両方で優れた性能を発揮するように設計されています。このツールは、古典的なフォトレジスト除去技術を排除し、線幅の変化を最小限に抑えた正確なエッチングパターンを提供するユニークなレーザパターニングプロセスを採用しています。NOVELLUS Vector Expressには、2種類のトレースカートリッジが組み込まれており、最適なトレース間隔、ライン精度、パターニング忠実度を提供します。LAM RESEARCH Vector Expressは、最大限の制御と自動化を実現する幅広いハードウェアおよびソフトウェアツールを搭載しています。強力なレシピジェネレータ、統合されたプロセスパラメータ制御モジュール、高度なデータロギングおよび分析パッケージが含まれており、すべての機能により、ユーザーはエッチングプロセスを管理および最適化できます。Vector Expressは、ISO 14644-1 Class 5やClass 7など、さまざまなクリーンルーム環境での使用が認められています。その包括的な設計と厳格なテストにより、高性能、安定した生産、および信頼性の向上が保証され、商業および研究グレードのアプリケーションに最適です。