中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9372786 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express from NOVELLUSは、基板の微細構造化と操作を必要とする精密アプリケーション向けに設計された高度なエッチャー/アッシャープラットフォームです。これは、パーティキュレート浸潤を低減するために絶縁された標準的な真空チャンバー、統合されたガスおよび化学供給装置、および高度なスキャンおよびフォーカスイオンビーム（FIB）機能を備えています。NOVELLUS Vector Expressは、紫外線にさらされない狭い経路をエッチングするための浅いチャンネルを自動的に作成するユニークな基板段付きサーフェスソフトウェアも備えています。LAM RESEARCH Vector Expressには、レーザー/ビーム位置フィードバックシステム、高度な位置決めメカニズム、自動基板ウェーハアライメントシステム（SWAS）、および制御環境空冷ユニットなどの高度なツーリングおよび監視機能も含まれています。一体型のガス搬送機により、化学組成、圧力、温度などのパラメータを簡単に調整し、最適なエッチング条件を得ることができます。Vector Expressは、イオンビーム光学系による比類のない精度と精度を提供し、複雑なパターンのエッチングを可能にします。さらに、高度なプロセス制御ツールは、最適なエッチングパラメータを自動的に校正し、維持します。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、基板の選択、自動および手動のアライメント、パラメーターの選択など、さまざまなツールや機能に簡単にアクセスできます。NOVELLUS Vector Expressの性能は、マルチプレーンのガス流量アセット、高速誘電ガードリング積層解除プロセス、および強化されたウェットエッチング技術によってさらに向上しています。このモデルには、プログラマブルなノズルヘッドも含まれており、ユーザーは複数のエッチング技術に一度にアクセスできます。最後に、LAM RESEARCH Vector Expressには、エッチング後のデータ分析と監視のための多くの機能が含まれており、プロセス制御の強化と検査時間の短縮を可能にします。