中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9314358 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、半導体製造プロセスにおける正確なエッチング制御用に設計されたエッチャー/アッシャーです。優れた機能とプロセス安定性を提供し、1時間あたり最大20万ウェーハの高い蒸着速度、および低欠陥の基板蒸着を提供します。NOVELLUS Vector Expressは、高度なプロセス制御ソフトウェアを備えた柔軟で高速なフルフィールドエッチャー/アッシャーです。高度なソフトウェア機能により、エッチング実行ごとに精密なエッチング条件を設定でき、安定したプロセス条件でエッチング操作を実行できるようになります。LAM RESEARCH Vector Express etcher/asherは、手動での作業を削減し、汚染リスクを最小限に抑えるための自動ウェハローディング/アンローディングシステムと、最適な化学種/試薬の安定性を提供するガス分配ネットワークを備えています。塩素、フッ素、六フッ化硫黄、酸素など様々なガスを使用して、高アスペクト比の構造や高分解能の特徴をエッチング・アッシングすることができます。エッチャー/アッシャーは、SEMI P-12、 P-17、 P-25などの最新の半導体業界標準に準拠しています。Vector Expressエッチャー/アッシャーは、モジュール式のユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスを使用して、すべてのエッチング/アッシング操作を管理します。このソフトウェアは、プロセス持続時間、温度、パワーレベル、流量などのエッチングパラメータを設定するための使いやすい環境と、エッチング/アッシュ操作を監視するための直感的なユーザーインターフェイスを提供します。このソフトウェアは、リアルタイムの流量監視、プロセス履歴ストレージ、およびプロセス後の分析ツールもサポートします。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Etcher/Asherは、浅いトレンチ絶縁（STI）エッチング、深部トレンチ絶縁（DTI）エッチング、選択的酸化エッチング、ウェーハ洗浄、金属成膜など、さまざまなエッチング/アッシング操作に使用できます。エッチャー/アッシャーは、オペレータがエッチング/アッシング操作の前にフィーチャー構造を視覚的に検証できるように、エンベデッドビジョンシステムで設計されています。さらに、エッチャー/アッシャーはフルフィールドプラズマエッチング技術で設計されており、ウェハ上のフィーチャーサイズや位置に関係なく、ウェーハ全体に均質なエッチング深度を提供します。NOVELLUS Vector Expressエッチャー/アッシャーは、半導体メーカーにとって強力で柔軟な機械です。優れたエッチング/アッシング機能、優れたプロセス制御、およびコンタミネーションリスクの低減により、高度な半導体プロセスのフローでのエッチング/アッシング操作に最適です。