中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9298589 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、NOVELLUS製のマルチチャンバーエッチャー/アッシャーです。半導体・電子産業におけるパターン化されたマスクや構造物の精密エッチングやアッシング、研究開発用途に使用されます。従来のエッチングと、直径200mmまでの大型単体基板での新たなアッシング操作を両立できるように設計されています。NOVELLUS Vector Expressは、幅広いサンプルサイズと構成に対応できる複数のプロセスチャンバーを備えた、高度で完全に自動化された生産エッチャー/アッシャーです。LAM RESEARCH Vector Expressは、業界をリードするエッチングおよびアッシング源を備えており、各プロセスの速度、精度、および費用対効果を兼ね備えています。25°Cまでの低温エッチング機能を備え、低圧動作とタイトなプロセス制御機能を備えています。ベクターエクスプレスは、セットポイント± 0。1°C以内の温度安定性を提供し、1/10秒のプロセスステップと飛行時間精度で、優れたプロセス再現性を提供します。その直感的なユーザーインターフェイスは、リモートとマシンの両方で、高速かつ簡単にプログラミングを行います。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、チャンバー絶縁と急速熱アニーリング（RTA）の両方を組み合わせた最初の製品で、幅広いプロセス要件に対応できる単一のエッチングおよびアッシングシステムを提供します。拡張性、アップグレード性、柔軟性に優れた構成により、さまざまなエッチングの課題に大きな柔軟性を提供します。プロセス要件に応じて、加工チャンバーを簡単かつ迅速に交換できます。マイクロランチャーと高精度スキャン機能を備え、エッチングとアッシングプロセスを完全に自動化します。NOVELLUS Vector Expressは、ダウンタイムとメンテナンスコストの削減を目的とした制御システムにより、多種多様な堅牢な製造環境での信頼性の高い動作を実現します。この機械はまた信頼できる、低コスト操作およびより長い寿命の性能を提供する最先端の技術との最も最近の安全規則そして標準のすべてを満たします。LAM RESEARCH Vector Expressは、エッチングおよびアッシング操作で最高レベルの精度と信頼性を求める人に最適です。