中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9294406 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、半導体業界のハイスループット処理用に設計されたエッチャー/アッシャーです。NOVELLUS Vector Expressは、異方性エッチング、等方性エッチング、ディープエッチングなど、さまざまなエッチングおよび成膜プロセスに使用できる高性能、高速、マルチビーム機器です。複数の動作モードを使用して、素材を迅速にエッチングまたはデポジットするために使用できる高スループット処理モードを含む、迅速で正確なウェーハ処理を提供します。LAM RESEARCH Vector Expressは、レーザーのような光源を使用して、その処理の均一性と精度を保証します。光ビームは、デジタルミラー装置（DMD）や空間光変調器（SLM）など、いくつかの光学部品を介して処理されます。DMDは、レーザーのような光ビームを生成する光波の正確な組み合わせを作成します。また、Vector Expressは超高強度イオンビーム（UHI-IB）システムを備えており、イオンを加速してパターン化された基板に向ける。このユニットは、より速く、より細かく、より多くのprecisepatternを生成することにより、より良いエッチングプロセスを生成することができます。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、イオンビームの配置をプログラムして特定のパターンを正確にエッチングするタイルエッチングアレイを使用しています。このマシンは、高品質で再現性の高い深い複雑なパターンをエッチングするのに適しています。NOVELLUS Vector Expressは、最小限の化学材料を使用しながら、高精度で高速な複雑なパターンをエッチングするために使用できるため、半導体業界で広く使用されています。正確なエッチングパターンを迅速に生成し、優れた適合性を持つ材料を堆積させ、非常に低い熱負荷で高速なプロセスを実行することができます。LAM RESEARCH Vector Expressは、従来のエッチングおよび成膜プロセスと完全に互換性があり、研究者は同じツール、機器、および材料をウェットまたはドライプロセスの両方に使用することができます。最後に、Vector Expressはユーザーフレンドリーで、メンテナンスを最小限に抑える必要があります。つまり、既存のラボや生産セットアップに素早く簡単に統合できます。