中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9294235 を販売中

LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express
ID: 9294235
ウェーハサイズ: 12"
PECVD System, 12".
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、半導体デバイス製造に使用される高度なエッチャー/アッシャー装置です。半導体ウェーハおよび基板上の円形および直流特性の高精度パターニングを可能にするように設計されています。NOVELLUS Vector Expressは、その種の最先端のシステムであり、高速で正確なハイエンドパターンを作成する能力のための業界の専門家によって高く評価されています。LAM RESEARCH Vector Expressには、プラズマ流量、流れ方向、電圧、エッチング速度、ガス濃度などのパラメータを監視および調整するためのクローズドループ制御ユニットが装備されています。また、高解像度のマスクレスリソグラフィーマシンを搭載しており、高精度な直流および水平フィーチャーを作成します。このツールは、1ミクロンまでの機能サイズを達成することができ、高い速度でエッチングすることができ、ミスアライメントをゼロにし、最高レベルの精度を確保することができます。Vector Expressは、その密度最適化機能により、総所有コストを削減するように設計されています。この機能により、大容量バッチが可能になり、資産内の車両数が削減され、歩留まりとコスト効率が向上します。さらに、LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、オペレータを保護し、事故のリスクを劇的に低減するための高度な安全機能を備えて設計されています。最後に、NOVELLUS Vector Expressは、モデルの柔軟性と拡張性を可能にするモジュラー設計を備えています。これにより、必要に応じて最新のコンポーネントと機能を使用して機器をアップグレードできます。LAM RESEARCH Vector Expressもアップグレード可能で、必要に応じてモジュールをレンタルでき、コストを抑えることができます。Vector Expressは、高品質、高収率、低コストの半導体製品を生産するための理想的なシステムです。
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