中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9284871 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、さまざまな複雑な材料セットを処理するために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。NOVELLUS Vector Expressは、高度なマルチステーションプラズマケミカルエッチング技術を活用して、誘電体、金属、その他の材料スタックに深くエッチングすることができます。このシステムは、高いスループット率と優れたプロセス制御を誇っています。温度帯機能と極めて安定した独自のベローズ・システムにより、サイクル時間を短縮し、加工されたすべての材料スタックに対して均一なエッチング・ソリューションを実現します。LAM RESEARCH Vector Expressは2つのチャンバーと最大3つのステーションを備えています。ハイエンドエッチング機能のために最大600ワットのプラズマ出力を提供し、ローエンドエッチングのニーズに合わせてダイヤルダウンすることができます。さらに、Vector Expressは、スループットを向上させ、パフォーマンスを最適化するための高度な機能を多数搭載しています。これらには、内部ガスリフトフィーダー、レーザーカットオフ、オフサイトFRC、調整可能なエッチングレートなどが含まれます。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、高度なソフトウェアコントロールも提供しており、ほとんどのソフトウェアパッケージと互換性があります。データロギング機能が内蔵されているため、エッチングサイクルのすべてのセットポイントとプロセスステップを追跡できます。このデータは、特定の要件を満たすためにプロセスをさらに最適化および精製するために使用できます。最後に、NOVELLUS Vector Expressは、所有および運用にも低コストです。これは堅牢なデザインを誇り、今後何年にもわたって信頼できる結果を提供するのに役立ちます。モジュール性の高いアーキテクチャにより、ユーザーは複数のモジュールとカスタマイズを追加できるため、要件に適合します。LAM RESEARCH Vector Expressは、優れたエッチング、成膜、アニーリングプロセス機能を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。さまざまな材料スタックに適合するように構成可能であり、その高度な機能により、お客様は最も困難な材料から確実に再現可能な結果を達成することができます。その低コストの所有権と多くのソフトウェアパッケージとの互換性により、このエッチングシステムはサイクルタイムを短縮し、プロセス効率を向上させるのに最適です。