中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9270599 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、さまざまな厚さの層を基板に堆積してエッチングすることができる最先端のエッチャー/アッシャーです。この革新的なエッチャー/アッシャーは、Laser Activated Macro Mechanism （LAMM）を使用して、ユーザーがレイヤー構成を超精密に編集できるようにします。LAMMはまた、レイヤーのエッチングとデポジットに必要なサイクル時間を劇的に短縮します。NOVELLUS Vector Expressは、異なる材料の単層または複数の層を必要とするアプリケーションに適しており、アルミニウム、ポリシリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、およびタングステン材料を高い精度で堆積またはエッチングすることができます。エッチャー/アッシャーは最大380x380mmの基板サイズを持ち、薄い層で高品質で0.5µmまでエッチングできます。LAM RESEARCH Vector Expressは、一貫した反復可能なエッチング結果を保証するユニークなツール設計を備えています。このデバイスには、エッチャーのプラットフォームと同期する2つの事前調整レーザーが装備されています。これにより、エッチング領域全体の超滑らかなプラズマプロファイルが可能になり、材料がエッチングされる速度が制御されます。また、Vector Expressにはアダプティブスキャンが内蔵されており、低消費電力の最適化と正確なエッチング/蒸着層を実現します。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressの高精度と再現性により、要求の厳しいエッチング/成膜プロセスに使用できます。高効率で、厚さ200mmまでの基板に対応できます。エッチャーは大量生産が可能で、最大エッチング速度は1時間あたり300までです。さらに、NOVELLUS Vector Expressは、使いやすいユーザーインターフェイスと高速で部品の交換が簡単なため、メンテナンスを最小限に抑えるように設計されています。この最先端のエッチャー/アッシャーは、あらゆるエッチング/成膜プロセスに最適なソリューションです。LAM RESEARCH Vector Expressは、高精度、再現性、効率性を備えたさまざまなアプリケーションに適しており、大量生産のニーズに最適です。