中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9251477 を販売中

LAMLAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、高精度の半導体デバイス製造に使用される業界をリードするエッチャー/アッシャーです。高度な技術を駆使し、様々なデバイス層の高いスループットと正確なエッチングを実現します。NOVELLUS Vector Expressには、最小限の欠陥で高収率ウェハを製造するためのプロセス安定性を提供する最適化された速度と信頼性のための信頼できるSamcoプラズマソースが搭載されています。独自のDUPMASおよびSAMCOFITアルゴリズムは、安定したプロセスの確立にも役立ちます。LAM RESEARCH Vector Expressは、電力、圧力、温度などのプロセス変数を厳密に制御することにより、高速エッチング率と正確なウェーハパターニングを提供します。また、高度なIXE （Ion Exchange Etching）技術により、高アスペクト比パターン機能においても、より広いダイナミックレンジでエッチングの均一性を制御することにより、高いエッチング精度を実現しています。さらに、このシステムは効率的なウェーハローディングとソート機能も提供します。Vector Expressには、エッチング速度、エッチング異方性、エッチング選択性、ウェハの均一性、深さの均一性、プロセスの再現性を最適に組み合わせた高密度誘導結合プラズマ（ICP）ソースが含まれています。このシステムは、エッチング中にウェーハを所定の位置に保持するタイトコントロールチャックヘッドを備えており、裏面の汚染を防ぎます。ICPソースは、より高いパワーまでスムーズにランプすることができ、さらにプロセス時間を短縮することができます。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、蒸着、エッチング、ストリッピング、パターニングなど、さまざまな表面処理と組み合わせることができます。また、ウェーハトランスポートのFOUP制御機能、FOUPから処理までの製品トレーサビリティ、自動スタッキングなどの高度な機能も備えています。そのユーザーフレンドリーなインターフェイスは、任意のアプリケーションの要求に合わせて調整することができ、いくつかのメニューのオプションと設定を提供しています。要するに、LAMNOVELLUS Vector Expressエッチャー/アッシャーは、さまざまなデバイス層の高いスループットと精度のエッチングを提供する印象的なマシンです。最先端のIXE技術により、欠陥を最小限に抑えた優れたウェーハを製造することができ、統合されたPlasma Sourceにより、エッチング速度が速く、エッチングの均一性が非常に厳しく制御されます。生産および開発の両方の適用のために非常に適しています。