中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9235816 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、複雑なレイアウトで細かくパターン化されたサーフェスを作成するために使用される高度なエッチャー/アッシャー装置です。高解像度のXYステージでウェーハの精密アライメントを実現し、最適なウェーハの取り扱いと位置決めを実現するダイレクトツーディスクバキュームチャックを搭載しています。システムには幅広いプロセスオプションがあり、生産の柔軟性を実現しています。高速で正確なプロセスレートを備えた大量生産向けに設計されており、複数の実行にわたって正確な再現性を提供します。NOVELLUS Vector Expressには、高精度の5軸リニアドライブステージ、8インチの大型電子ビームソース、フルプロセス管理用の内蔵レシピマネージャなど、さまざまなツールと再現可能なプロセスの機能が搭載されています。また、スプレー・イン・プレイス・クリーナーなどの自動スマート洗浄剤や、信頼性の高いウエハハンドリング用の内蔵ロードロックも充実しています。LAM RESEARCH Vector Expressは、高密度レイアウトのエッチング/アザリングに最適です。このユニットは、最新世代のサブミクロン技術との互換性のために設計されており、欠陥のない操作のためのマルチゾーンスキャンを備えたStandardが付属しています。ベクトルエクスプレスは、メンテナンス性が低く、効率的なレイアウトにより、操作とメンテナンスが容易になり、シームレスな生産環境のために他のマシンと容易に統合できます。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、包括的なガス漏れ検出機、限られたスペース監視、換気ツールなど、オペレータを保護するさまざまな安全機能を備えています。また、オペレータが資産運用をリモートで監視できるように、リモートコントロール機能を備えています。これらの機能を備えたNOVELLUS Vector Expressは、生産ライン向けの信頼性と安全性の高いエッチング/アッシングソリューションです。