中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9215207 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、大量のスループットと高密度パターン処理用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。NOVELLUS Vector Expressは、フルエリアパターンと部分エリアパターンの両方をサポートするモジュラーアーキテクチャを備えており、高度なカスタマイズと柔軟性を提供します。システムの構成に基づいて、プロセスレシピを簡単かつ簡単に適応できるように設計されています。LAM RESEARCH Vector Expressは、大型の中央処理ユニット、メモリチャネルの配列、高精度DCモータ駆動のY軸ステージングユニットを備えています。Y軸ステージングマシンは、プロセス全体でウェーハを正確に移動させることができ、プロセス領域内のどこでもウェーハを移動させることができます。このツールには、高速コンピュータインターフェイスも含まれており、遠隔地からのプロセスの監視と制御を可能にします。Vector Expressは、高密度パターン分解能で450mmウェーハの処理が可能です。また、高精度の平面化制御アセットと高精度のビデオ検査システムを備えています。このモデルの多数のセンサは、リアルタイム監視および制御機能を提供し、装置がダウンタイムと最大効率を最小限に抑えて高いスループットレベルに到達することを可能にします。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、CDS （Computer-Directed-Scheduling）やSLE （Software-Led-Efficiency）などの包括的なソフトウェアツールとソフトウェア駆動プロセス制御を統合しています。これらのソフトウェアツールにより、お客様は生産ニーズに合わせてシステムを最適化するだけでなく、NOVELLUS Vector Expressを既存の生産環境に統合することができます。このユニットは、さまざまなエッチングとアッシングプロセスレシピを実行することができます。これらのレシピは、さまざまなエッチング比と基板保護要件に最適化できます。さらに、LAM RESEARCH Vector Expressは、お客様が特定のアプリケーションに対応するカスタマイズされたエッチングプロセスを開発することができます。機械のエッチングおよびアッシングプロセスは、品質と持続可能性の面で最高の業界基準を満たすように設計されています。Vector ExpressはAEC-Q100に認証されており、その信頼性を示しています。このツールはまた、環境保護庁によって課される揮発性有機化合物の排出基準を満たしています。全体として、LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、高速プロセススループット、高密度パターン解像度、品質、カスタマイズ可能なレシピを必要とするお客様に理想的なエッチャー/アッシャーです。ダウンタイムを削減し、全体的な運用効率を向上させながら、正確で信頼性の高いエッチングおよびアッシングプロセスを提供するように設計されています。