中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9169612 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9169612
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
CVD System, 12"
System configuration:
Front UI
Signal tower: Broken
System controller: MC3E, 02-257935-00
Module controller: MC3E, 02-253704-00
IOC: IOC#0,1,2,3 HDSIOC
ATM Robot & controller:
BROOKS RELIANCE 8
Friction type
Controller 129974
Trust controller: C-2027-D01
ULPA Filter
(3) Pod loaders: Fixload 6M
LL / FE Interface PCB: 03-283968-00
Loadlock configuration:
(2) ATM Door valves: VAT
(2) Chamber slit valves: SMC
L/L Manometer: (10) Torr 750B 11TCE2GK
Vacuum switch
LTM Type: LTM II
Preheat pedestal
Pedestal lift type: Servo motor (Both)
Vent / Purge valve
L/L On-board pump: KAWASAKI 27-283364-00 NV60N-2
PM Configuration:
Module type: PSIN
HF Generator: Apex 3013
LF Generator: PDX2500
HF Auto matcher 27-279938-00
Navigator: 10013-L80MFI 3155162-002 D
RF Distribution type: Balance kit
RPC Source:
Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00
RPC Power supply: AX7645
Pendulum valve: VAT / PM7 controller X
Pedestal: Standard type
Shower head
Endpoint detector: IREPD - MKS
10 Torr process gauge
Vacuum switch
20 Torr switch
MFC:
BROOKS SLA7950S
N2A
N2B
Ar
He
SiH4
NH3
NF3
O2
N2O(L)
N2O(H)
Arm position detector
Gauge monitoring kit
Spindle type: Servo motor, 27-278697-00
Right L/L top cooling
Stn#1 pin lift type: Servo motor
Missing parts:
PM7 Controller
Signal tower: Broken
Power:
208 VAC, 3 Phase
Main 150 A
Full load 100 A
2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、半導体および関連産業で使用される高性能で効率的なエッチング装置です。クォーツウェーハ、シリコン基板などの基材を高温環境下で高精度、高信頼性、高速エッチングするよう設計されています。NOVELLUS Vector Expressは、最大1：25のアスペクト比をエッチングすることができ、1分間に最大1。5ウェーハの高スループットを提供します。LAM RESEARCH Vector Expressは、独立して制御されたプロセスチャンバーと専用ポンピングシステムを備えた複数の高性能エッチングチャンバーを使用しています。このシステムは、蒸着時間を短縮し、ウェーハの損傷を最小限に抑え、優れたプロセス均一性を提供するように設計されています。また、エッチング処理を微調整することで、重要な機能を正確に制御することができます。各エッチングチャンバー内では、マルチゾーン温度と圧力制御を使用して、各チャンバ全体に一貫した環境を作り出します。このツールは、高信頼性エッチングのための統合された加熱と冷却を備えています。また、エッチングチャンバーには、フッ素系反応ガス（SF6、 NF3、 CF4など）を精密かつ制御した専用のガス混合アセットを使用しています。また、ベクトルエクスプレスは、エッチング性能を向上させるための均一なプラズマを提供する高度なチャンバーインピーダンス制御（CIC）モデルを備えています。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、高度なユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルインターフェイスを使用して、制御とプログラム開発を容易にします。また、この装置は、すべての標準的なエッチング制御システムとシームレスに統合し、最大限の柔軟性と生産性を実現します。メンテナンスとアップタイムを最小限に抑えるように設計されており、最大のオペレータ安全のためのSEMI安全規格の認定を受けています。NOVELLUS Vector Expressは、さまざまな材料やアプリケーションで優れたエッチング品質と性能を生産することができ、大量のエッチング用途において信頼性が高く効率的な選択肢となります。これは、優れた信頼性、効率性、均一性を提供する迅速かつ費用対効果の高いソリューションです。
まだレビューはありません