中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9099742 を販売中

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エッチャー／アッシャー
製造業者
LAM RESEARCH / NOVELLUS
モデル
Vector Express
ID: 9099742
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
CVD System, 12" System configuration: Front UI System controller: MC3E, 02-257935-00 Module controller: MC3E, 02-253704-00 IOC: IOC#0,1,2,3 HDSIOC ATM Robot & controller: BROOKS RELIANCE 8 Type: Friction Controller 129974 Trust controller: C-2027-D01 ULPA Filter (3) Pod loader: Fixload 6M LL/FE Interface PCB: 03-283968-00 Loadlock configuration: (2) ATM Door valves: VAT (2) Chamber slit valves: SMC L/L Manometer: 10 Torr 750B 11TCE2GK Vacuum switch LTM type: LTM II Preheat pedestal Pedestal lift type: Servo motor (Both) Vent / Purge valve L/L On-board pump: KAWASAKI 27-283364-00 NV60N--2 PM Configuration: Module type: PSIN HF Generator: Apex 3013 LF Generator: PDX2500 LF Fixed matcher: X HF Auto matcher 27-279938-00 Navigator: 10013-L80MFI 3155162-002 D RF Distribution type: Balance kit RPC Source: Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00 RPC Power supply: AX7645 Pendulum valve: VAT / PM7 Controller X Pedestal: Standard type Shower head Endpoint detector: IREPD - MKS Gas box: 02-323496-00 / SRD 200107436 MFC: BROOKS SLA7950S MFC 2 N2 10000 MFC C Ar 10000 MFC 5 He 20000 MFC 1 SiH4 1500 MFC B N2 20000 MFC 6 NH3 20000 MFC 9 NF3 10000 MFC 8 O2 30000 MFC A N2O (L) 1500 MFC 7 N2O (H) 25000 Arm position detector Gauge monitoring kit Spindle type: Servo motor, 27-278697-00 Stn#1 pin lift type: Servo motor Missing parts: PM7 Controller Gauge tree Power: 208 VAC, 3 Phase Main 150A Full load 100A 2007 vintage.
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LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、微細加工プロセスで使用される高性能エッチャーおよびアッシャーツールです。これは、複数のプロセス手順を同時に実行できる8つの独立したチャンバーを備えたマルチチャンバーシステムです。NOVELLUS Vector Expressは、誘電体、金属、フォトレジスト、低k材料、およびギャップ充填およびクリーニングアプリケーションをエッチングするためのプラットフォームです。エッチャーは、並列動作モードで動作する1360Wの高いプラズマ電源（PSP）を備えています。この高出力により、高速エッチングプロセスを実現し、高いスループットで微細加工ニーズを実現します。さらに、高いPSPは、エッチングの敏感な材料のエッチングやエッチングが困難なフィルムにも有益です。さらに、LAM RESEARCH Vector Expressは、伝統的な材料と先進的な材料の両方で構成された多層スタックのエッチングに適しています。ベクトルエクスプレスの柔軟性は、効率的な冷却システムによってさらに強化されており、チャンバを0〜110°Cの範囲で動作させることができます。これにより、基板の損傷や劣化のないほぼすべての材料のエッチングが保証されます。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressの温度制御ロールとチャックは、基板の均一で正確な予熱を提供し、パターン歪みのないエッチングを提供します。それは欠陥を減らし、現在の歩留まりを改善できる5秒以内の± 20°Cの速いウェーハ気候シフトを備えています。さらに、その熱制御精度も優れており、安定性は0。1°Cよりも優れています。これにより、NOVELLUS Vector Expressは繊細なパターンのエッチングを成功させ、歩留まりを向上させるのに理想的です。LAM RESEARCH Vector Expressも高度なプロセス制御を誇っています。プロセスベースのインターフェースは、プラズマ強度、ガス流量、RF周波数、圧力、冷却機構など、すべてのエッチングパラメータを制御できるように設計されています。これらの設定はすべてインターフェイスから容易に利用でき、エッチング処理を簡単に微調整するために監視および調整することができます。結論として、Vector Expressは、さまざまな微細加工材料をエッチングするための卓越したレベルの柔軟性を提供する、最高のエッチャー/アッシャツールです。高いアスペクト比の特徴をエッチングし、効率的な温度制御と高いPSP機能により、複雑なマイクロパターンに取り組むのに適しています。さらに、使いやすいプロセスベースのインターフェースにより、すべてのエッチングパラメータを簡単に制御および監視できます。これらのすべての機能により、LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、効率的で正確で高品質のエッチングおよびアッシング操作を実行するために最適な選択肢です。
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