中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293829992 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、半導体デバイス製造用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。最先端の高密度・高生産性技術を取り入れています。この装置は、使用率、信頼性、および保守性を向上させることにより、TCO （Total Cost of Ownership）を低減しながら、精度と精度を提供します。モジュラーコンポーネントを備えたメンテナンスフレンドリーな設計で、簡単な交換が可能で、ダウンタイムを最小限に抑えます。NOVELLUS Vector Expressには、ユニットパフォーマンスを最適化し、歩留まりを向上させるためのさまざまなカスタムツールが含まれています。これには、パターニングプロセスと堆積プロセスを実行するための特殊なツールが含まれます。また、基板温度と圧力を制御するための精密工具を内蔵しており、フィルム成膜やエッチバックプロセスの均一性と精度を実現しています。このツールは、高度なプラズマベースのエッチングとエッチング技術に基づいています。独自のラムプロセス収束制御を備えています。この機能は、ベクトル伝導、エネルギー制御、エッチング速度制御アルゴリズムを単一の排気資産に組み合わせることで、必要な消耗品の数を減らしながら優れた制御と均一性を実現します。このモデルはまた、統合されたロードロックを備えており、プロセス基板を迅速かつシームレスに転送します。高速転送機能により、スループットを高速化し、製品サイクルのターンアラウンドタイムを短縮できます。LAM RESEARCH Vector Expressは、幅広いプロセス化学製品と互換性があるように設計されており、さまざまなアプリケーションに適しています。さらに、この装置は大部分の電気化学システムで動作するように設計されており、さまざまなエッチング化学製品で動作することができます。このシステムには、排気ガスを制御するための予防措置や蒸気除去など、さまざまな安全機能が含まれています。これにより、安全で効率的なエッチング/ビア環境が保証されます。全体として、Vector Expressは効率的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。モジュラー設計によりメンテナンスが容易になり、高度な技術により高密度で高生産性のプロセスを実現します。また、揮発性ガスや化学物質による危険を防止するための高度な安全機能も備えています。これにより、半導体デバイス製造に最適です。