中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293800642 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、優れた性能と信頼性の高い動作を提供するエッチャー/アッシャー機器です。半導体製造に使用されるような、最も精密なエッチング/アッシングプロセス用に設計されています。NOVELLUS Vector Expressは、特許取得済みのチャンバーレベル自動送りエッチング速度制御（AFRC）技術により、優れた製品均一性を提供します。この革新的な技術は、プロセスの要件を満たすために必要に応じてエッチング速度を調整し、最適な基板温度を維持して高品質の結果を生み出します。さらに、予測モデリングを使用して変化するプロセス条件に自動的に調整する動的プロセスモードを備えており、高い製品品質とプロセスの均一性をさらに確保します。自動化されたチャンバーレベルAFRCユニットは、エッチング速度とチャンバ圧力の両方を監視および調整できるため、高精度で信頼性が高くなります。また、極端なプロセス条件に効果的に対処することができ、高温プロセスで優れた結果を提供します。さらに、その高解像度ハードウェアは、他のエッチャー/アッシャーよりも高い精度を可能にします。このマシンは使いやすいステップバイステップのプロセスコントローラを備えており、オペレータのジョブを簡素化します。グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と直感的なアイコンを提供し、ユーザーを正しい設定に導き、ユーザーエラーを最小限に抑えるのに役立ちます。コントローラはまた、ツールのステータスに関するリアルタイム情報を提供し、ユーザーが即座にプロセスパラメータを調整することができます。LAM RESEARCH Vector Expressは、シリコン基板やアルミ基板など、さまざまな基板や材料を取り扱うことができます。また、金属-金属エッチング、フラットパネルエッチング、薄膜エッチングなど、さまざまなプロセスオプションを提供しています。さらに、このアセットには多目的なカセットローディングモデルがあり、カセットと基板を簡単に交換できます。これにより、エッチングおよびアッシング操作がスムーズかつ効率的に実行されるため、基板を迅速かつ中断することなく処理できます。全体として、Vector Expressは精度と速度を必要とするエッチング/アッシュプロセスに最適です。この装置は、エッチングおよびアッシング用途において優れた性能、信頼性、汎用性を提供します。また、使いやすいインターフェイスとユーザーフレンドリーな機能を備えているため、半導体業界での使用に最適です。