中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293793396 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、サブミクロン装置のハイスループット生産を可能にする高度なエッチャーおよびアッシャー装置です。FinFET、 MURAなどの最新の半導体デバイスの製造に使用される非常に複雑で高アスペクト比の構造の製造に最適化されています。NOVELLUS Vector Expressエッチャーシステムは、物理エッチングと選択性と精度を兼ね備えています。これは、等方性エッチング、方向性エッチング、および過剰エッチングの3つの異なるエッチングモードを提供します。等方性エッチングは、単一のエッチングマスクを使用して、すべての側面から均一なエッチングを作成します。高アスペクト比の構造に最適化された指向性エッチングは、2つのマスクを使用して高い垂直選択性を実現し、上部からのエッチングを可能にし、側面からの側面エッチングはマスクで覆われていない領域でのみ可能です。超滑らかな酸化物エッチングに最適化されたオーバーエッチングモードで、最大2ミリオーバーエッチングで精密なトリミング操作が可能です。LAM RESEARCH Vector Expressには、品質保証をエッチングするための統合されたin-situモニタリングユニットもあります。このマシンは、エンドポイント検出とプロセス最適化の継続的な監視を可能にします。CF4エッチソースとホットサーフェスソースを搭載しており、微細な特徴のためのより高いスループット処理を可能にし、基盤となる酸化物層への損傷のリスクを最小限に抑えます。このツールはまた、絶縁された静的フリーのプロセスチャンバーを備えており、最高の酸化物の品質を保証します。Vector Expressエッチャーとアッシャー資産は非常に高いモジュール性、柔軟性、拡張性を備えて設計されており、将来のアップグレードと拡張を可能にします。レシピとレシピ開発ツールの豊富なライブラリが含まれており、手動調整とプロセスパラメータの最適化により、最も要求の厳しいアプリケーションを可能にします。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、高度なパッケージング、eWLB、および3D-stacking製造プロセスのプロセス統合に最適で、信頼性の向上と製造歩留まりの向上を実現します。