中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293775691 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293775691
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
System, 12"
(2) BROOKS Vision 9 loader
KASHIYAMA NV60N-5 Cooling pedestals in loadlocks
ATM Robot
Controller kit RBT / Armset, 8.4"
Vortex controller
IOC Controller
Chase computer
TEVET
Cable with accessory
Loadlock
Process chambers:
MKS AX7645RH-01 Remote Plasma Sources (RPS)
MKS AX7645PS-01 Remote Plasma Sources (RPS)
COMDEL CLX-2750 RF LF Generator : 2.75 KW
AD-TEC AXR-2000 RF HF Generator : 2 KW
Process modules:
MKS Baraton 10 Torr
MKS Baraton 1000 Torr
Gas box:
MFC number / Make / Model / Gas / MFC Size
MFC1 / AERA / FC-D980C / SiH4 / 1.5 SLM
MFC2 / AERA / FC-D981SBC / N2 / 1.0 SLM
MFC3 / AERA / FC-D981SBC / C2H2 / 5.5 SLM
MFC4 / AERA / FC-D981SBC / H2 / 10 SLM
MFC5 / AERA / FC-D981SBC / He / 20 SLM
MFC7 / AERA / FC-D982C / N2O / 25 SLM
MFC8 / AERA / FC-D981SBC / O2 / 25 SLM
MFC9 / AERA / FC-D981SBC / NF3 / 3 SLM
MFCB / AERA / FC-D981SBC / N2 / 10 SLM
MFCC / AERA / FC-D981SBC / Ar / 35 SLM
MFCD / AERA / FC-D981SBC / Ar / 5 SLM
2011 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、幅広いアプリケーションで高性能を提供するように設計された、高度なシングルウェーハエッチャー/アッシャー技術です。これは、高品質の結果を生成するために、エッチングと灰のステップの両方を順番に実行することができます。NOVELLUS Vector Expressは、優れた再現性と超高速サイクルタイムを提供し、さまざまなエッチングおよび灰アプリケーションで効率的で高いスループットと柔軟性を実現します。この機械は、良好な均一性と再現性を必要とするエッチングプロセスでの高スループット処理が可能であり、正確な基板温度制御用に設計されています。2つのNOVELLUSプロセスチャンバー、マイクロ波ジェネレータ、RFジェネレータを1つのユニットに統合する高度なモジュラーアーキテクチャを備えています。LAM RESEARCH Vector Expressは、MEMS、化合物半導体、シリコンウェーハの薄型化、厚い金属加工など、さまざまなエッチングおよび灰アプリケーションの高速かつ正確な処理を提供します。ハイスループット装置は、80um/minまでのエッチング速度で、高アスペクト比（3：1）で小さなフィーチャーサイズ（0。2um）を処理します。ベクターエクスプレスは、シリコン、ヒ素ガリウム、窒化チタン、有機材料、アルミニウム、ポリイミドなど幅広い材料を処理することができます。さらに、統合されたマルチプロセスチャンバー構成により、エッチングとアッシュステップの両方を1サイクルで処理できます。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressには4つのプロセスレシピがプリロードされています。NOVELLUS Vector Expressは、金属および有機蒸着プロセスの制御を強化する、正確で費用対効果の高いエッチング/アッシング・システムです。プロセス精度を向上させるための精密な温度差動制御、より高速な基板ローディングのための自動インターロック、最適な均一性のための自動調整など、いくつかの高度なプロセス制御機能を備えています。さらに、操作が簡単なタッチスクリーンのグラフィカルユーザーインターフェイス、直感的なテンプレート言語と機器のセットアップを簡素化し、ダウンタイムを削減するインタラクティブなグラフィカルプログラミングが含まれています。LAM RESEARCH Vector Expressには、プロセスデータを利用して潜在的な歩留まりとダウンタイムを排除するプロセスモニタリングおよび制御マシンも装備されています。Vector Expressは、高度で信頼性の高いエッチングソリューションで、均一性と再現性を向上させ、幅広いエッチングおよび灰アプリケーションのスループットを向上させます。その統合されたモジュラーアーキテクチャは、優れたプロセス制御を可能にし、均一で反復可能な結果を保証します。このツールは信頼性が高く使いやすく、エッチングや灰処理の柔軟性を高める多数のプロセスレシピがプリロードされています。その直感的なグラフィカルプログラミングとプロセス監視および制御資産は、費用対効果の高いエッチングおよびアッシングソリューションに最適です。
まだレビューはありません