中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293754400 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express （VX）は、様々なアプリケーションプロセスにおいて正確で高品質な回路パターンを生成するために設計されたエッチャー/アッシャー装置です。VXシステムは、高容量スループットと優れた均一性の結果を達成しながら、精密なパターンを実行することができ、最先端の技術を搭載しています。VXは高度なアブレーション制御ソフトウェアを使用しており、エッチングとアッシングの両方のプロセスを正確に制御できます。これにより、エッチングする正確なパターンと、正確なエッチングの深さと横精度を定義できます。LAMのAuto-AlignおよびAuto-Rotate機能により、パターンをシフトして回転させることで、より良いアライメントと精度を実現します。また、VXは高度にモジュール化されており、ユーザーはニーズに応じてマシンを構成することができます。このツールは、均一で反復可能なパターンを確保するために、ジェットステッププロセスを採用しています。これは、プリエッチングを含むいくつかのステップで構成されています。これに続いて、パターンの実際のエッチングが行われるメインエッチングステップが続きます。最後に、off-etchステップは余分な材料か残余が取除かれることを保障します。VXには、デュアルマルチファセットイルミネータ（DFI）も装備されています。これは、F-シータとテレセントリックレンズの2つのレベルからなる反射マルチランバーチアン光学パッケージで構成されています。これにより、エッチングを多方向に行うことができ、より正確なエッチングが可能になります。アセットにはビルトインビジョンモデルも組み込まれており、エッチング中の優れた登録を保証します。これは完成品が良質および均等性であることを保障します。さらに、装置は粒子の汚染を減らし、ダウンタイムを最小にするように設計されています。ナノ粒子回収システムは、エッチング中に粒子を捕捉するために特別に設計されており、それらが基板を汚染するのを防ぎます。これはさらに、制御された環境と効率的な粒子のキャプチャを可能にする凝縮チャンバーを含みます。最後に、VXユニットは高度な診断ソフトウェアを備えています。これにより、異なる基板のエッチングおよびアッシングパラメータを監視し、調整を行い、より良い結果を得るためにマシンを最適化することができます。これらのすべての機能により、ツールは比類のない精度、正確さ、およびスループットを達成し、高品質の完成品を生み出すことができます。