中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293748930 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、小規模アプリケーション向けの最先端のハイスループットエッチャー/アッシャーです。このエッチャーは、半導体製造業界の人々に迅速、正確、一貫した、繰り返し可能な結果を提供するように設計されています。2〜3ミクロンの大きさで正確にパターンや形状を作り出すことができます。NOVELLUS Vector Expressは、ダイレベルのシンギュレーション用にも設計されています。LAM RESEARCH Vector Expressは操作が簡単です-統合されたタッチスクリーンはリアルタイムの性能情報を表示し、ユーザーが装置をすばやく調整し、発生するプロセスの変化に対応することができます。モジュラーアーキテクチャにより、システムのインストール、サービス、アップグレードが容易になります。完全診断スイートは、重要なユニットコンポーネントが故障する前に事前警告を提供するため、ダウンタイムが短縮され、機械の稼働時間が増加します。エッチャーは高度なパターン検索アルゴリズムを備えており、100以上のカスタマイズ可能な設定で高精度のエッチングを実現します。エッチャーには、より一貫した均一なエッチングとより良いプロセス制御のためのガス効率管理ツールも装備されています。真のARC準拠アーキテクチャにより、エッチャーはTCO（総所有コスト）が低いことが保証されます。ベクターエクスプレスは、炭素フッ化物、塩素、酸素などの応用材料を組み合わせてエッチングパターンを作成します。エッチャーは、エッチング性能と寿命の一貫性を最大化するように設計された半導体グレードのアルミニウムでできています。エッチャーはまた、ほとんどのグローバルな研究と完全に互換性があり、あらゆる規模の企業に最適です。全体として、LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、小規模部品の精密エッチングとシンギュレーションを必要とする半導体業界の人々にとって優れた選択肢です。その高度な機能、簡単なインストール、診断スイートは、優れたエッチング性能、プロセス効率の向上、およびより長い資産ライフサイクルをユーザーに提供します。