中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293738977 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、半導体産業における大量のアプリケーション向けに特別に設計された高度なエッチャーおよびアッシャー技術です。この装置は、プラズマアシストエッチング/アッシュ（PAE）などの高度なエッチング/アッシュ技術と、複数の基板、高度なバレル/ポンプ構成、およびプロセスを最適化するためのその他のサポート技術を組み合わせています。このシステムは、複数のプロセス技術を1つのプラットフォームに組み合わせることで、優れたスループットと歩留まりを提供します。PAEは、ウェーハディッシュやエッジ変形などの欠陥を最小限に抑え、高いエッチング率と低粗度を実現します。さらに、フロートガラス、溶融石英、コーニングHDTVなどの複数の基板を使用することで、エッチングと灰プロセスが可能になります。NOVELLUS Vector Expressは、高度なエッチング技術とアッシュ技術を組み合わせることで、さまざまな素材や基材を厳格に制御することができます。LAM RESEARCH Vector Expressプラットフォームは高度に構成可能で、さまざまなプロセス要件に合わせてソリューションをカスタマイズするために使用できます。プラットフォームは、ベクトル処理セルとマルチプロセスコントローラの2つの主要なモジュールで構成されています。ベクトル処理セルには、基板ホルダー、真空チャック、プラズマソース、エッチングおよびアッシングステーション、冷却ユニットなど、エッチング/アッシュプロセス用のすべてのコンポーネントが含まれています。マルチプロセスコントローラを使用すると、エッチングやアッシングなどの複数のプロセスを1回の実行で簡単に実行できます。Vector Expressは、高度なリモート監視、診断、トレーサビリティ機能も備えています。リモートモニタリングにより、ユーザーは、エッチング/灰の速度、温度、圧力など、エッチング/灰プロセスに関するすべての詳細にアクセスできます。ユーザーはまた、トレーサビリティと再現性のためのエッチングレシピをトレースすることができます。機械はまた完全な用具の監視と設計されています、従ってユーザーは現在のエッチング/灰の計算、圧力および温度データおよびサイクル・カウントを見ることができます。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、高度な技術により、プロセス制御と優れたスループットと歩留まりにより、大量で効率的なエッチングとアッシングを可能にします。プラットフォームの汎用性により、幅広いプロセス要件に合わせてカスタマイズでき、高度なリモート監視およびトレーサビリティ機能により、完全な制御とプロセス管理が可能です。