中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293652040 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、精密微細加工プロセスで使用される高度なプラズマエッチャー/アッシャーです。この汎用性の高いツールは、金属、絶縁体、半導体など、さまざまな材料をエッチングおよびアッシングすることができる高性能プラズマ源を備えています。NOVELLUS Vector Expressは、基板タイプごとに最適化された調整可能な圧力とセットポイントを備えており、基板またはプロセスに損傷を与えない優れたエッチング結果をもたらします。LAM RESEARCH Vector Expressは、デュアルRFジェネレータと専用の高電圧源により、複雑な構造の深いエッチング深度とミクロンレベルの精度を実現します。Vector Expressは、高速サイクルタイム、最小限の真空および反応チャンバーのコンディショニング、および低化学的使用量を備えたハイスループット生産に最適です。その高度に自動化された操作は、パラメータの簡単なセットアップと監視を可能にし、高速で反復可能な結果を可能にします。このシステムには、最適な性能を得るためにプラズマソースを校正する自動調整機能もあります。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、高度な診断とオンボードガス混合分析システムにより、優れたエッチング品質とプロセス変動を最小限に抑えます。NOVELLUS Vector Expressは、エッチングに加えて、アッシング、レイヤーストリッピング、その他の乾燥処理が可能です。その汎用性の高い堅牢なガス分配プラットフォームは、特定のプロセス化学に最適化されており、基板に依存しない反復可能なエッチング結果を提供します。また、高性能シャワーヘッドにより、プロセス性能を劣化させることなく、最大6インチのウェーハをエッチングおよびアッシュすることができます。LAM RESEARCH Vector Expressはユニークなプラズマエッチバックアップも備えており、ユーザーはエッチング設定を以前の最適化された状態に素早く簡単に復元できます。Vector Expressは、精密微細加工用途に理想的なツールであり、R&D段階から大量生産に迅速に製造プロセスを移動させる速度、精度、および信頼性を提供します。