中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293625918 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、高いスループット、高い製品品質、再現性のあるプロセス性能を低コストで提供するように設計された完全自動エッチャー/アッシャーです。NOVELLUS Vector Expressは、堅牢で信頼性の高い設計と、モジュール式でスケーラブルなアーキテクチャにより優れた性能を発揮します。LAM RESEARCH Vector Expressは、表面材料を除去するために使用される機械的力と、残りの露出した材料を溶解するために使用される化学作用の組み合わせである化学機械研磨（CMP）の原理に基づいて動作します。これにより、ベクターエクスプレスは、アルミニウム、タングステン、およびその他の金属のフィルムを含む、超精密レベルからナノメートル深度まで、ワークから不要な表面材料を効果的に除去することができます。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、ウェット/ドライプロセス、プラズマエッチング、低圧ドライエッチングの組み合わせなど、さまざまなお客様の要件を満たすために幅広いチャンバー構成を備えています。各構成にはエッチングツールが付属しており、チャンバーの再認定は必要ありません。このチャンバーには、エンドポイント検出、チャンバ評価、個々のツールプロセスなどの自動機械機能が搭載されているため、操作が直感的で効率的です。また、NOVELLUS Vector Expressは、ウェーハの進捗状況を自動的に追跡する統合生産管理装置を備えており、お客様のエッチング/アピレーション操作をリアルタイムで確認できます。システムはまた、レシピデータを保存してリコールする方法を提供し、生産プロセス全体で一貫した予測可能な結果を保証します。LAM RESEARCH Vector Expressは、アンビエント粒子を排除できるデジタル化された大気制御ユニットで、タイトな粒子数要件を満たすように設計されています。また、プロセスエンジニアが汚染を最小限に抑えるために処理条件を正確に調整できる直接粒子測定ツールを備えた高度な粒子制御ソリューションも提供しています。最後に、Vector Expressには、ダウンタイムを削減し、プロセス歩留まりを改善する一連のソフトウェアソリューションが付属しています。これらのソリューションは、プロアクティブな診断およびプロセス監視ツールを統合することで、お客様は効率と生産性を最大化し、コスト削減を次のレベルに引き上げることができます。全体として、LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、堅牢で信頼性の高いパフォーマンスと優れたスループットを提供する高度なエッチャー/アッシャーで、優れた再現性と低コストの所有コストを備えています。モジュラーアーキテクチャと統合ソフトウェアソリューションにより、NOVELLUS Vector Expressはプロセスの制御と監視を容易にし、歩留まりを改善し、ダウンタイムを最小限に抑えます。