中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293615299 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、誘電体や金属層などの材料を堆積し、高精度のエッチングと洗浄を行うために使用される高度なエッチャー/アッシャー技術です。このシステムは、均一で再現性のある正確で信頼性の高い高収量の製品を生産することができます。NOVELLUS Vector Expressは、さまざまなアプリケーションでの高度なデバイスの研究、開発、生産に最適なツールです。LAM RESEARCH Vector Expressには、プラズマガスの並列流量、シールドおよびエッチングガスを生成する2つの正確に制御されたガス注入システムが装備されており、高品質のエッチングと洗浄の結果を可能にします。また、あらゆる用途の高性能エッチングに最適化された圧力および真空システムを備えています。真空および圧力要件は、プロセス要件に合わせて可変かつ調整可能です。ベクターエクスプレスは、優れた材料除去と洗浄を提供することができます。基板の厚さを大幅に変化させることなく、材料のより正確で正確な蒸着を可能にする非常に小さなビームサイズを持つように設計されています。これにより、優れたデバイス性能に必要な均一で一貫した誘電層厚さが得られます。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressには、信頼性の高いプロセス制御を可能にする複数のプロセス監視ソリューションが搭載されています。これらのソリューションは、圧力と温度、電極数、堆積または除去された材料の量、およびその他のプロセスパラメータを監視します。このデータにより、再現性と信頼性の高い結果が得られ、一貫性のあるデバイスのパフォーマンスが保証されます。NOVELLUS Vector Expressは、半導体、太陽電池デバイス製造、その他の産業用途など、さまざまな業界で使用されています。このシステムは、最先端のアプリケーションに必要な高精度、均一性、信頼性を備えた高品質のデバイスを製造することができます。さらに、LAM RESEARCH Vector Expressは、産業オートメーション生産システムに簡単に統合できるため、産業生産環境に最適なツールとなります。この高度なエッチャー/アッシャーは、最も信頼性の高いエッチングソリューションの1つです。