中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293614948 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、高度な半導体処理を容易にするように設計されたエッチャー/アッシャーです。20Kマトリックスポイントを超えるパターン密度をサポートし、より高いスループットとデバイスのカバレッジの高速スループットを実現します。さらに、NOVELLUS Vector Expressは、均一でない層の厚さにマルチパターニング層を転送するだけでなく、乾いたエッチングとウェットエッチングの両方を実行することができ、ユーザーはエッチングプロセスをより適切に制御できます。LAM RESEARCH Vector Expressには、バッチ処理と自動最適化ツールの両方を含む包括的なソフトウェアスイートが装備されています。これにより、エッチング、コンフォーマルコーティング、バックグラインド、パターニングなどの強化されたプロセスステップの組み合わせを活用しながら、均一で反復可能な結果を提供できます。このソフトウェアスイートは、熱および電気的モニタリング機能も備えており、複数のウエハランで均一で反復可能な結果を保証します。エンジニアリング仕様の面では、Vector Expressは0。1から1 µm/minまでのさまざまなエッチング速度を提供しています。シングルエッジ水平スロットでは± 0。4 µm/minの再現性があり、幅は10 µmです。また、チャンバーサイズは920 x 700mmで、最大12インチのウェーハ用に設計されており、さまざまなウェーハ材料をサポートしています。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Expressは、半導体市場の進化するニーズに対応するように設計されており、NOVELLUSが最先端のエッチングおよびアッシング機器を提供することを約束しています。そのソフトウェアスイートとエンジニアリング仕様は、正確で信頼性の高いエッチングプロセスを実現するための強力なツールキットをユーザーに提供します。NOVELLUS Vector Expressは、半導体製造プロセスに加えて、より高い精度と高速なスループットで製品を作成することができます。