中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9315261 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speedは、半導体部品の加工に使用されるエッチャー/アッシャーです。この機械は、歩留まりと性能に優れた高品質のシリコンウェーハを製造するように設計されています。NOVELLUS Speedは、湿式と乾式の両方の方法論を使用して、高精度、高スループットの物理エッチングおよび化学成膜プロセスを利用しています。LAM RESEARCH Speedは、単一構造化（または標準）集積回路、MEM（マイクロエレクトロメカニカルシステム）およびフォトニクスデバイスの効率的な生産を可能にするように設計されています。スピードは、ウェーハ加工に物理エッチングと化学成膜の2つの技術を使用しています。物理エッチングとは、化学溶液またはガスを使用して層をエッチングし、目的の構造を作成するプロセスです。化学成膜（chemical deposition）とは、2つの物質の化学反応により、材料が表面または層内に堆積するプロセスのことです。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speedは、様々な材料や厚さのパターニングと、表面の完全性を制御する機能を可能にします。NOVELLUS Speedは、シリコンウェーハの複数の側面を視覚的に検査および測定する高解像度の外観検査インライン機器を備えています。このシステムは、より高い毎日の歩留まり、より高いスループット、品質の向上、メンテナンスコストの削減を提供します。LAM RESEARCH Speedには、プログラム可能な基板サポートユニット、および基板負荷とアンロードオートメーションも含まれています。これにより、ウェーハの適切なサポートと取り扱いが保証され、処理中にウェーハが損傷しないようにします。スピードは、リアルタイムのデータ収集マシンを使用してプロセス監視を可能にし、プロセスの改善または問題のほぼ瞬時のフィードバックを提供します。統合されたオンボードデータストレージツールは、実行中にすべてのプロセスデータを保存し、エッチング/蒸着プロセスを完全に制御します。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speedには、LAMのFlexible Processing Center （FPC）ソフトウェアも搭載されており、ハードウェアやプロセス設定をリアルタイムで調整することができます。FPCは、柔軟性のあるレシピの実行を可能にし、異なるプロセスやアプリケーションの広い範囲を単一のプラットフォームで完了することができます。NOVELLUSスピードエッチャー/アッシャーは、高信頼性、高LAM RESEARCHスピード、集積回路、MEM、およびフォトニクスデバイスを製造するための費用対効果の高い正確なツールです。Speedは、高精度の自動プロセス制御、および高度なインライン外観検査および基板処理技術を活用することで、一貫したウェーハ品質と再現性を保証します。FPCソフトウェアは、特定のレシピやプロセス制御のユーザーフレンドリーなプログラミングを可能にし、汎用性と効率的なシリコンウェーハの製造を可能にします。