中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9293848 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speedは、半導体製造業界で使用されるエッチングおよびアッシングツールです。これは、より高速なパターニングを可能にする革新的な技術を活用して、高スループットを実現するように設計されています。このシステムは、エッチングとアッシングの2段階のプロセスを利用しています。このステップでは、NOVELLUS Speedプラットフォーム内の真空チャンバーでプラズマが生成されます。その後、Cl2などの化合物をプラズマに導入し、高精度のエッチング処理を行います。エッチングされた機能は、ポストエッチング保護フィルムによって保護されます。アッシングステップは、O2、 He、 Arのユニークな3方向の組み合わせを利用して、過剰な粒子の蓄積を必要とせずにきれいで効率的なアッシングプロセスを提供します。さらに、LAM RESEARCH Speedプラットフォームは、チャンバー内の圧力を制御し、正確なエッチングとアッシング条件を確保することができます。Speedの高度なアルゴリズムにより、エッチングとアッシングの結果を最適化するためにチャンバーの圧力と温度を適切にする方法について、プラットフォームは独立した決定を下すことができます。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speedは、さまざまなプロセスに適しており、最も重要な半導体パターニングニーズに対応できます。その高スループット機能により、MEMSデバイス、Finfield-effect transistor （FET）、非常に大規模な統合（VLSI）など、高度なエッチングとアッシングを必要とするプロセスにとって魅力的なオプションとなります。さらに、NOVELLUS Speedは、さまざまなウエハサイズ、形状、厚さに対応できます。LAM RESEARCH Speedは直感的なユーザーインターフェイスで設計されており、アダプティブ測定システムを搭載しているため、リアルタイムのデータ分析を可能にし、パフォーマンスの最適化を実現します。この強力なツールは、低ダウンタイムと一貫したウェーハスループットにより、信頼性が高くなります。全体として、Speedは高度なエッチングおよびアッシング・システムで、パターニング・アプリケーションにおいて高いスループットと比類のない精度を提供します。半導体製造工程で優れた性能を要求される方に最適です。